一種模塊化CMOS圖像傳感器高溫動態(tài)老煉裝置的設(shè)計研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著半導體工藝技術(shù)的不斷提高，CMOS圖像傳感器在固體傳感器中的優(yōu)勢日益彰顯，使其應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓寬。從日常生活中隨處可見的智能手機、數(shù)碼相機到醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)監(jiān)控的攝像頭，再到星敏感器、航海航天等空間科學，都有 CMOS圖像傳感器的身影。在 CMOS圖像傳感器的應(yīng)用市場在高可靠領(lǐng)域中不斷的同時，對器件可靠性規(guī)定也在不斷嚴苛。然而在生產(chǎn)、制造過程中由于結(jié)構(gòu)、工藝等因素使 CMOS圖像傳感器不可避免地存在著缺陷。為確保器件能夠在軍事、航天等對

2、可靠性要求極高的領(lǐng)域投入使用，必須先對器件可靠性進行評估。老煉是元器件評估的重要方法。因此，CMOS圖像傳感器老煉裝置的設(shè)計研究是很有必要的。
　　本文以V1TIX30圖像傳感器動態(tài)老煉試驗為目的，設(shè)計了一種模塊化CMOS圖像傳感器高溫動態(tài)老煉裝置，它具有可實時監(jiān)控、老煉效率高、應(yīng)用靈活、穩(wěn)定可靠等優(yōu)點。主要研究內(nèi)容如下：
　　集成電路可靠性與老化基礎(chǔ)理論。
　　老煉的基本理論。
　　CMOS圖像傳感器的基本理論

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