天通公司雙面精密拋光機(jī)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)及實(shí)現(xiàn).pdf

1、雙面拋光機(jī)主要適用于磁性材料、半導(dǎo)體硅片、鍺片、光學(xué)玻璃、金屬材料及其它硬性和脆性材料的兩面高精度高效率的拋光。拋光原理為四動(dòng)模式；兩個(gè)電機(jī)分別拖動(dòng)上下兩個(gè)拋盤(pán)、太陽(yáng)輪、內(nèi)齒圈；設(shè)定控制采用 PLC調(diào)整；人機(jī)界面系統(tǒng)的顯示使用彩色 NT。龍門(mén)結(jié)構(gòu)為箱形，配置大功率減速系統(tǒng)，軟啟動(dòng)、軟停止，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，拋光時(shí)間根據(jù)計(jì)時(shí)器可隨意設(shè)定，采用了自動(dòng)供給拋光液裝置。為了防止拋光過(guò)程對(duì)零件的破壞，在與拋光液接觸的零部件選用了防腐材料或表面進(jìn)行了特殊處

2、理。通過(guò)聯(lián)合精密型傳感器與氣動(dòng)控制的高精密系統(tǒng)，使得壓力形成閉環(huán)反饋控制，以保證工件壓力的準(zhǔn)確性。采用了強(qiáng)制集中潤(rùn)滑對(duì)主要運(yùn)動(dòng)副進(jìn)行潤(rùn)滑。拋光液系統(tǒng)具有多個(gè)輔助功能系統(tǒng)，包括獨(dú)立攪拌系統(tǒng)、循環(huán)水冷卻功能、給拋光液升溫以及檢測(cè)拋光液實(shí)時(shí)溫度等功能，我們可選配不同的功能制做。
　　雙面拋光加工是晶片超平滑表面加工的有效途徑，受到了人們的廣泛關(guān)注，如何有效的獲得晶片超平滑表面成為了各界專(zhuān)家學(xué)者研究的熱點(diǎn)。雙面拋光機(jī)氣動(dòng)加載系統(tǒng)能夠?qū)?/p>

3、超平滑表面加工進(jìn)行精確的控制，提升晶片超平滑表面加工的質(zhì)量。
　　加載裝置是雙面拋光加工的重要組成部分，決定了晶片超平滑表面加工的質(zhì)量，本文依據(jù)實(shí)際的需求，對(duì)雙面拋光加工的控制系統(tǒng)進(jìn)行了設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)。本文首先對(duì)雙面拋光機(jī)的基礎(chǔ)理論進(jìn)行了介紹，對(duì)控制理論進(jìn)行了研究；針對(duì)系統(tǒng)的硬件設(shè)計(jì)與軟件設(shè)計(jì)分別進(jìn)行了詳細(xì)的闡述，對(duì)系統(tǒng)的功能與任務(wù)劃分進(jìn)行了分析；文章以雙面拋光機(jī)為研究對(duì)象，提出了手動(dòng)和自動(dòng)控制兩種工作模式，設(shè)計(jì)了軟件的總體方案和系統(tǒng)