基于MCs-51單片機的甩干機系統(tǒng)設計與實現(xiàn).pdf

1、本設計介紹了基于MCS-51系列8051單片機的甩干機控制系統(tǒng)的設計。在半導體工藝中把做好的芯片從大源片上分離開來,需要一步叫劃片的工藝。劃片工藝是使用金剛砂輪把硅片切開,在切割的過程中能產生大量的硅片和金屬等的碎渣,這些碎渣會對芯片造成沾污,這就需要在劃片工藝中形成的礦渣進行清除,方法是對硅片進行清洗。傳統(tǒng)的清洗方法是用高壓水槍噴水清洗,或者用棉絨等蘸水擦洗,然后用氮氣吹干。這些方法容易造成對做好的芯片表面的劃傷或者二次污染,清洗效果

2、不佳。
　　所以需要有一種專門清洗這種硅片的設備,既能清洗干凈,又不會產生二次污染。國外對此工藝的處理,先進的大公司使用的是清洗機,但一般使用PLC控制,功能強大,但成本很高,不利于大范圍的推廣使用。結合此經驗,用兩個MSC-51系列8051單片機代替PLC,既能完成清洗工藝,又降低了成本。這種清洗機,首先利用噴出的氮氣和高壓水來清洗硅片,然后停止噴水,利用高速旋轉和噴出的氮氣,將硅片吹干,使硅片的清洗和干燥比較均勻。主要完成的功

3、能包括按鍵控制、LCD顯示、抽真空吸片、低速旋轉沖洗、高速旋轉甩干、步進電機擺動、排水以及由氣缸控制的開關門動作。單片機系統(tǒng)輸出的信號經三極管放大后,由驅動芯片進行驅動控制12V繼電器,再控制電磁閥和直流電機驅動器,從而控制各功能部分動作。同時單片機輸出一定頻率的脈沖信號和高低電平信號到步進電機驅動器,控制步進電機的擺動速率和方向。單片機掃描鍵盤狀態(tài),根據狀態(tài)進行特定的動作。各個檢測傳感器把檢測到的信號放大后輸入到單片機中進行運算處理。