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1、晶圓片測(cè)試是指對(duì)于晶圓片上的每一個(gè)芯片進(jìn)行逐個(gè)測(cè)試。這種測(cè)試是在晶圓經(jīng)過復(fù)雜的涂膠、光刻、參雜等過程生產(chǎn)出成品的芯片后的首次測(cè)試。晶圓片測(cè)試是通過使用測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)所組成的測(cè)試系統(tǒng)完成的。測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)這些測(cè)試設(shè)備的發(fā)展是隨著芯片生產(chǎn)工藝的發(fā)展而來的。隨著芯片制造技術(shù)的發(fā)展,晶圓片的尺寸越來越大,芯片的越來越小,用于晶圓測(cè)試的測(cè)試儀器也隨著更新?lián)Q代?,F(xiàn)階段我國(guó)測(cè)試行業(yè)發(fā)展迅速,但是大多數(shù)測(cè)試公司使用的都是低端或者是老舊的測(cè)試設(shè)備。在實(shí)際
2、的生產(chǎn)過程中產(chǎn)生了很多問題和麻煩。本文是結(jié)合我國(guó)測(cè)試產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀,以使用在生產(chǎn)第一線的晶圓測(cè)試設(shè)備為基礎(chǔ),以解決生產(chǎn)過程中的實(shí)際問題為目的的。
本文通過分析相關(guān)型號(hào)的測(cè)試機(jī)和探針臺(tái),確定了在測(cè)試機(jī)和探針臺(tái)之間增加中轉(zhuǎn)PC的解決方案。通過在Visual Studio2008開發(fā)平臺(tái)使用C++語(yǔ)言開發(fā)軟件程序,使得在中轉(zhuǎn)PC上能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)原測(cè)試系統(tǒng)的原始通信,生成統(tǒng)一格式Wafermap文件并且能夠統(tǒng)一管理,實(shí)現(xiàn)定點(diǎn)回測(cè)功能以及脫機(jī)打點(diǎn)
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