三自由度精密定位工作臺(tái)設(shè)計(jì)與制造工藝技術(shù).pdf

1、納米壓印光刻技術(shù)是應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造方法中最具有應(yīng)用前景的技術(shù)之一，具有成本低，生產(chǎn)效率高的優(yōu)點(diǎn)。圍繞納米壓印光刻技術(shù)的研究得到了蓬勃的發(fā)展，其中精密定位工作臺(tái)定位技術(shù)的研究具有重要的理論意義和應(yīng)用價(jià)值。精密定位工作臺(tái)是在納米壓印光刻設(shè)備中關(guān)鍵的核心部件，工作臺(tái)的定位精度直接影響光刻設(shè)備的圖形位移精度、套刻精度、對準(zhǔn)精度、分辨率等的多項(xiàng)光刻技術(shù)參數(shù)，精密工作臺(tái)的質(zhì)量直接決定了壓印的精度和質(zhì)量。
　　依據(jù)改進(jìn)的Delta機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的

2、理論分析模型，在運(yùn)動(dòng)學(xué)和剛度仿真分析的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)制造了用于納米壓印光刻系統(tǒng)，具有3個(gè)平動(dòng)自由度的柔性并聯(lián)精密定位工作臺(tái)，該機(jī)構(gòu)由電壓控制器分別控制三個(gè)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的加載電壓，驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)實(shí)現(xiàn)精密定位。
　　使用三坐標(biāo)測量機(jī)對精密定位工作臺(tái)柔性鉸鏈的加工尺寸進(jìn)行了精度檢測。數(shù)據(jù)表明工作臺(tái)的三個(gè)柔性鉸鏈的橢圓輪廓形狀和位置尺寸與理論值有誤差，對產(chǎn)生誤差的原因進(jìn)行分析，提出了減小加工誤差的加工工藝改進(jìn)方法。通過工作臺(tái)輸出特性實(shí)驗(yàn)，得到