用于太陽能電池板生產(chǎn)中的高精度恒溫槽設(shè)計.pdf

1、針對全球范圍內(nèi)能源緊張的局面，太陽能作為綠色能源越來越受到世界各國的重視。光伏發(fā)電是太陽能利用的主要形式，具有廣闊的發(fā)展前景。光伏太陽能電池板上要求生產(chǎn)PN結(jié)。在半導(dǎo)體PN結(jié)器件生產(chǎn)過程中，要求擴(kuò)散氣體恒溫在20℃(±0.1℃)。本文的設(shè)計就是用于生產(chǎn)半導(dǎo)體PN結(jié)時保證擴(kuò)散氣體的恒溫槽。
　　 介紹了恒溫槽測控系統(tǒng)的硬件構(gòu)成，包括觸摸屏、PLC、半導(dǎo)體制冷器、電熱管、熱電偶和信號調(diào)理電路等。對恒溫控制系統(tǒng)的模糊PID控制器進(jìn)行了

2、設(shè)計。模糊PID控制滿足了高精度控制領(lǐng)域中時變系統(tǒng)的控制精度要求，系統(tǒng)的控溫精度得到了提升。
　　 為了提高傳感器的測量精度，將多傳感信息融合技術(shù)運(yùn)用到測控系統(tǒng)中去。首先對每一個傳感器進(jìn)行時間上的分批估計，得到各個傳感器的局部決策值；接著對方差超過一定數(shù)值的數(shù)據(jù)進(jìn)行基于相對距離的再處理；最后運(yùn)行加權(quán)自適應(yīng)算法對各個局部決策值進(jìn)行融合。數(shù)據(jù)分析結(jié)果表明，處理后的數(shù)據(jù)更接近測量真實值。
　　 針對已建立的恒溫槽系統(tǒng)利用不同的