薄膜熱電變換器熱電轉換誤差測試系統(tǒng)研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、薄膜熱電變換器是計量交流電壓及交流電流的參考基準，在電學標準領域具有非常重要的地位。論文研制的熱電轉換誤差測試系統(tǒng)，對評價薄膜熱電變換器的熱電轉換性能具有重要的研究意義。
　　本文首先利用直流快速反轉法(FRDC)設計了用于評價薄膜熱電變換器熱電轉換誤差的信號源，即FRDC源。FRDC源內部包括7V基準電壓電路、分壓緩沖電路和模擬開關電路三個部分?；鶞孰妷和ㄟ^分壓緩沖電路后被模擬開關切換為FRDC波形和CPDC波形，加載于薄膜熱電

2、變換器的加熱電阻。最后測量薄膜熱電變換器上熱電堆的輸出電壓，計算交直流轉換誤差。對7V基準電壓電路產生的基準電壓進行測試的結果表明，其穩(wěn)定度為0.7ppm/h。
　　其次，由于薄膜熱電變換器上熱電堆的冷端位于襯底上表面，當環(huán)境溫度發(fā)生變化時，熱電堆冷端溫度也會隨之變化，對測量結果引入較大誤差。因此，本文設計了一個基于熱電制冷片(TEC)的恒溫平臺，使薄膜熱電變換器的襯底溫度保持穩(wěn)定。經計算，30分鐘內襯底溫度的最大變化量僅為2.5

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