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文檔簡介
1、本論文分別應(yīng)用有機(jī)化合物普魯士蘭、導(dǎo)電高分子聚苯胺和注氧隔離技術(shù)獲得的硅材料制備了三種電化學(xué)免疫生物傳感器，實(shí)現(xiàn)AFP的快速檢測?！ ”狙芯坑兄诎l(fā)展簡單、快速以及實(shí)時(shí)檢測的生物分析方法，而且制備方法簡單，將注氧隔離形成的SOI硅片，用于超薄體表面敏感器件的設(shè)計(jì)和制作，并結(jié)合阻抗分析技術(shù)，制備了可檢測AFP的免疫傳感器。通過光刻、薄膜生長/沉積、蝕刻、接線和封裝等工藝，獲得自然氧層覆蓋下的超薄導(dǎo)電硅層，并用它制備了兩種類型的器件，兩種
2、器件對pH和離子濃度的阻抗響應(yīng)均分布在不同的頻率范圍，因而離子濃度并不干擾器件對pH值的響應(yīng)，使用氨基丙基三乙氧基硅烷可以把抗體固定到敏感器件的表面。利用阻抗技術(shù)檢測生物傳感器的表面修飾過程和分子間作用。表面電位的變化、修飾分子的介電特點(diǎn)和表面態(tài)都可能影響導(dǎo)電通道的電荷分布和導(dǎo)電性，研究表明，這種超薄體表面敏感器件有可能用于發(fā)展AFP檢測的微型化傳感器。特別是和傳統(tǒng)的半導(dǎo)體加工工藝和微電子集成電路工藝相結(jié)合，可以很容易實(shí)現(xiàn)器件的微型化和
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