GLI-100型量塊激光干涉儀的研制.pdf

1、本論文通過米定義及量塊長度的測量，介紹量塊長度的測量方法及存在的問題，并分析量塊接觸測量的兩項重要誤差，運用激光干涉理論和電子技術(shù)理論以及光譜輻射線特點，結(jié)合計算機技術(shù)研制出一套能滿足高等級量塊測量的接觸式激光干涉儀。從方案、光路分析、電路分析、溫度控制系統(tǒng)、測量軟件5個方面詳細介紹GLI-100型量塊激光干涉儀使用光譜輻射線(激光的)一種波長直接測量量塊長度的光波干涉方法，并通過測量不確定度分析及應(yīng)用報告，證明其滿足高等級量塊的測量要

2、求，不但可以免除使用多種波長的光譜輻射線所帶來一系列問題，還可以免除被測量塊必須研合在一個輔助的平板上所帶來一系列問題；且測量結(jié)果不受被測量塊測量面和與其相研合輔助平板所形成干涉條紋質(zhì)量的影響。另外，運用單片機技術(shù)和程控軟件，實現(xiàn)了測量數(shù)據(jù)的采集、記錄和處理的自動化，大大提高了工作效率，實現(xiàn)了量塊測量的高效、客觀、自動化。 GLI-100型量塊激光干涉儀的研制不僅提高測量檢定效率，而且可以填補中南地區(qū)及湖北省的空白，對高精度加工