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文檔簡介
1、隨著現(xiàn)代電子技術(shù)的快速發(fā)展,傳感器不但在工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛,汽車工業(yè)、消費(fèi)電子工業(yè)、國土安全、醫(yī)療保健和國防工業(yè)等等領(lǐng)域也不例外?,F(xiàn)在,具有信息探測(cè)和轉(zhuǎn)換功能的傳感器已成為電子信息領(lǐng)域中不可或缺的部分。在眾多傳感器中,具有磁場(chǎng)探測(cè)功能的霍爾傳感器在全球傳感器中扮演著至關(guān)重要的角色,2010年霍爾傳感器的總市場(chǎng)價(jià)值為7.7億美元,而到2016年預(yù)期將達(dá)到14億美元,這期間以8.7%復(fù)合年均增長率保持增長。同時(shí),人們對(duì)霍爾傳感相
2、關(guān)技術(shù)的研究仍在持續(xù)中,霍爾傳感技術(shù)可謂前途無量。
本文基于HHNEC BCD350nm工藝設(shè)計(jì)一種開關(guān)型集成霍爾傳感器。首先對(duì)霍爾傳感單元(霍爾板)的原理、性能及設(shè)計(jì)方案進(jìn)行了解、分析,并予以工藝實(shí)現(xiàn)。然后基于霍爾板性能和輸出參數(shù)進(jìn)行信號(hào)電路設(shè)計(jì),著重解決三個(gè)難題:微弱霍爾信號(hào)的讀出與放大;霍爾板輸出失調(diào)的消除;霍爾板霍爾靈敏度溫漂的補(bǔ)償?shù)?。這些問題的解決為后續(xù)的集成霍爾傳感器設(shè)計(jì)提供了經(jīng)驗(yàn)和理論技術(shù)支持。
本文設(shè)
3、計(jì)主要包括以下4個(gè)方面:
?。?)根據(jù)霍爾效應(yīng)和霍爾感應(yīng)相關(guān)理論和技術(shù),基于HHNEC BCD350nm工藝設(shè)計(jì)高靈敏度的霍爾板;
?。?)采用開關(guān)電容和放大器結(jié)合的方法,設(shè)計(jì)電路讀出霍爾電動(dòng)勢(shì),并對(duì)霍爾信號(hào)進(jìn)行放大;
?。?)采用正交電流法和采樣保持電路、開關(guān)電容技術(shù)來消除霍爾板的輸出失調(diào)電壓,該電路同時(shí)對(duì)運(yùn)放的失調(diào)電壓也有一定的抑制作用;
?。?)在信號(hào)處理電路中引入了溫度補(bǔ)償技術(shù),來平衡霍爾板靈敏度
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