回轉(zhuǎn)式精密合成碳膜電位器阻體線性修刻技術(shù)研究.pdf

1、回轉(zhuǎn)式精密合成碳膜電位器阻體線性修刻技術(shù)研究旨在提高電位器的線性精度和修刻系統(tǒng)的修刻速度。本文在研究國(guó)內(nèi)外修刻技術(shù)的基礎(chǔ)上，通過分析精密合成碳膜電位器的修刻工藝特點(diǎn)，結(jié)合修刻系統(tǒng)的功能需求，完成了合成碳膜電位器修刻系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)的研究。具體包括以下工作：
　　 1通過分析系統(tǒng)的功能需求，完成了軟件系統(tǒng)的整體規(guī)劃。并對(duì)其中的主要模塊進(jìn)行了分析，介紹了其實(shí)現(xiàn)的方法。
　　 2分析電壓分布規(guī)律運(yùn)用數(shù)學(xué)知識(shí)，結(jié)合數(shù)控技術(shù)的研究，

2、找出并消除了系統(tǒng)的干擾，完成了精密回轉(zhuǎn)式合成碳膜電位器阻體修刻技術(shù)的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)——電壓采集技術(shù)的研究。
　　 3通過分析合成碳膜電位器的輸出特性，結(jié)合本文所選用的修刻原理，完成了修刻所需的修刻參數(shù)的設(shè)計(jì)，其中包括修刻參考目標(biāo)直線的建立，搜索零位算法等關(guān)鍵技術(shù)。
　　 4通過修刻實(shí)例對(duì)電位器修刻機(jī)上的實(shí)際工作流程進(jìn)行了介紹。
　　 5還對(duì)電位器線性度評(píng)價(jià)方法進(jìn)行了分析，指出了端基線性度評(píng)價(jià)方法的影響因素和局限，最