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1、 本論文采用半導(dǎo)體激光器單模光纖組件發(fā)射的激光作為光線基準(zhǔn),有效地減少了激光器本身的光線漂移,為偏擺角、俯仰角的測(cè)量提供高精度和高穩(wěn)定性的光線基準(zhǔn)。提出了一種簡(jiǎn)單、實(shí)用的偏擺角、俯仰角測(cè)量方法,并從光路、電路等方面對(duì)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行了系統(tǒng)的分析與設(shè)計(jì),采用半導(dǎo)體激光單模光纖組件作為光源,位置敏感探測(cè)器PSD作為探測(cè)器,實(shí)現(xiàn)對(duì)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌行程中的偏擺角、俯仰角誤差測(cè)量。對(duì)影響測(cè)量的因素進(jìn)行理論分析,.通過穩(wěn)定性實(shí)驗(yàn)、重復(fù)性實(shí)驗(yàn)以及與美國(guó)AP
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