信號調(diào)制方法在角度傳感器中的應(yīng)用研究.pdf

1、角度測量是幾何量計量技術(shù)的重要組成部分，在現(xiàn)代企業(yè)的質(zhì)量保證體系中具有非常重要的地位。隨著精密加工和超高速加工的發(fā)展，高精度、高分辨率小角度測量方法的研究成為此領(lǐng)域研究的一項重要內(nèi)容?，F(xiàn)階段小角度測量的準(zhǔn)確度和精度都達(dá)到了很高的水平，但是，傳統(tǒng)的小角度測量儀器如激光干涉儀，光電自準(zhǔn)直儀等，由于具有體積大、造價昂貴、對測量環(huán)境要求高、較難組成多維測角系統(tǒng)等特點而很難應(yīng)用于工業(yè)高精度在線測量。
　　 為了解決上述問題，本課題設(shè)計并試

2、制了一種基于內(nèi)反射效應(yīng)的二維角度傳感器，采用激光發(fā)射信號調(diào)制方法，以提高系統(tǒng)的抗干擾能力，實現(xiàn)二維角度的高精度實時測量，為下一步設(shè)計組建小型化多自由度位移檢測系統(tǒng)，實現(xiàn)對精密加工機(jī)床或坐標(biāo)測量機(jī)的運動姿態(tài)及誤差的測量奠定基礎(chǔ)。本文的主要工作包括以下幾個方面：
　　 ⑴論述了本文研究的目的和意義，查閱了大量國內(nèi)外有關(guān)技術(shù)資料，綜合評述了微小角度測量技術(shù)的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢。
　　 ⑵從理論上分析了基于光調(diào)制角度傳感器測角法的原