合肥同步輻射反射率計(jì)的改進(jìn).pdf

1、合肥同步輻射實(shí)驗(yàn)室光譜輻射標(biāo)準(zhǔn)與計(jì)量站主要從事標(biāo)準(zhǔn)光源比對(duì)原理和方法、探測(cè)器標(biāo)準(zhǔn)傳遞、氣體吸收截面測(cè)試、反射率及透射率的測(cè)試幾個(gè)方面的工作,其中反射率計(jì)主要用于測(cè)量各種光學(xué)元器件的反射率.它的建立為國(guó)內(nèi)X射線～真空紫外波段光柵、反射鏡的測(cè)試作出了重要貢獻(xiàn).但該裝置實(shí)際使用也發(fā)現(xiàn)存在著一些嚴(yán)重影響測(cè)試精度和測(cè)試效率的問(wèn)題: 1)對(duì)入射光、反射光不能同時(shí)測(cè)量,光源出現(xiàn)波動(dòng)時(shí),嚴(yán)重影響測(cè)試精度; 2)測(cè)試效率低,"破空--更換

2、樣品--重新抽空"這樣的工作循環(huán)使該裝置的使用效率受到嚴(yán)重影響; 3)操作不便. 針對(duì)上述問(wèn)題,通過(guò)查閱相關(guān)文獻(xiàn),結(jié)合實(shí)際操作經(jīng)驗(yàn),本文在不對(duì)現(xiàn)結(jié)構(gòu)作大改動(dòng)的前提下,提出了幾種解決問(wèn)題的設(shè)計(jì)方案,具體措施包括: 1)在入射光側(cè)設(shè)計(jì)-光強(qiáng)測(cè)量傳感器,實(shí)現(xiàn)入射光/反射光基本同步監(jiān)測(cè); 2)在現(xiàn)有結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上,將真空室加長(zhǎng),增加預(yù)抽室,更換樣品不需破空,大幅提高了反射率計(jì)的使用效率; 3)改進(jìn)濾片送給裝置