ICP掃描光譜儀的研發(fā).pdf

1、隨著科技和社會(huì)的快速發(fā)展，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)對(duì)ICP掃描光譜儀的需求越來(lái)越大，但目前在國(guó)內(nèi)銷售的掃描光譜儀大多數(shù)為進(jìn)口產(chǎn)品，這樣在設(shè)備使用和日常維護(hù)中都存在著各種不足。為了方便國(guó)內(nèi)用戶的使用，有必要自行研制開發(fā)ICP掃描光譜儀。 本論文首先較勢(shì)詳細(xì)地闡述了ICP(感應(yīng)耦合等離子體)掃描光譜儀的組成結(jié)構(gòu)以及工作原理。ICP掃描光譜儀是整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、技術(shù)含量很高的光譜分析儀器，主要由四部分組成：光源、進(jìn)樣系統(tǒng)、分光系統(tǒng)和測(cè)量與處理系統(tǒng)。ICP

2、光源有兩種：一種是自激式高頻發(fā)生器，一種是它激式高頻發(fā)生器。本論文選用的是自激式高頻發(fā)生器。進(jìn)祥系統(tǒng)由氣路系統(tǒng)、等離子體炬管、霧化器和霧室等組成。分光系統(tǒng)主要由-塊光柵和兩塊準(zhǔn)直鏡組成，光柵放置在光柵臺(tái)上，由掃描機(jī)構(gòu)帶動(dòng)光柵臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)光柵。掃描機(jī)構(gòu)由步進(jìn)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)器及蝸輪蝸桿組成。測(cè)量與處理系統(tǒng)是ICP掃描光譜儀中比較關(guān)鍵的一部分。本論文詳細(xì)論述了測(cè)量與處理系統(tǒng)各個(gè)部分的結(jié)構(gòu)、作用和掃描定位系數(shù)的計(jì)算。另外本論文還編寫了整個(gè)分析軟件，論文介