氦檢儀操作規(guī)程

1、氦檢儀操作規(guī)程氦檢儀操作規(guī)程1.目的：正確指導(dǎo)SFJ211氦檢儀的使用。2.適用范圍：本操作規(guī)程適用于SFJ21氦檢儀使用操作3.責(zé)任：3.1本操作規(guī)程由質(zhì)保部制定修改。3.2使用人員嚴(yán)格按照操作規(guī)程作業(yè)。4.設(shè)備:SFJ211氦質(zhì)譜檢漏儀5.設(shè)備專用輔助工具：氦氣、氧氣袋、噴槍、波紋管2根，快卸法蘭2只6.開機(jī)前的準(zhǔn)備6.1確認(rèn)需要檢測的設(shè)備內(nèi)部無水無塵及其他漂浮物，干燥清潔6.2確認(rèn)需要檢測的設(shè)備放置平穩(wěn)，氦檢儀放置水平，腳輪制動(dòng)可

2、靠6.3確認(rèn)需要檢測的設(shè)備內(nèi)部壓力在1000Pa以下；如需做精密檢漏被檢設(shè)備內(nèi)部壓力≤10Pa6.4把氧氣袋裝滿氦氣。6.5把需要檢測的設(shè)備（管道）用波紋管連接到氦檢儀上。6.6連接氦檢儀的電源7.開機(jī)操作步驟11.2校準(zhǔn)外部校準(zhǔn)泄漏：確認(rèn)標(biāo)漏樣件完好，將標(biāo)漏樣件和氦檢儀正確連接，系統(tǒng)執(zhí)行自動(dòng)校準(zhǔn)程序。a.按下主畫面中的設(shè)定按鈕，在設(shè)定畫面中選定標(biāo)漏設(shè)定后按確定按鈕b.進(jìn)入標(biāo)漏值設(shè)定畫面后，在真空標(biāo)漏位置選中外部NV然后按確定按鈕，系統(tǒng)

3、進(jìn)入自動(dòng)校準(zhǔn)程序，2分鐘內(nèi)自動(dòng)完成C.按主畫面按鈕，進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)。11.3每年的維護(hù)由專業(yè)計(jì)量檢測機(jī)構(gòu)重新校準(zhǔn)內(nèi)部校準(zhǔn)泄漏閥，光譜儀檢修，對(duì)標(biāo)定樣件進(jìn)行校驗(yàn)12.其他排空系統(tǒng)后，可以用干氮吹洗檢漏儀的測試端口。當(dāng)環(huán)境比較潮濕時(shí)，用干氮進(jìn)行吹洗能保持測試端口盡可能干燥，從而縮短了抽空系統(tǒng)所需的時(shí)間。要用干氮吹洗：1.關(guān)閉系統(tǒng)電源。2.從電源輸入端拔下電源線，然后卸下系統(tǒng)后端的塑料面板。3.找到用于排空測試端口的過濾器。它位于背部接觸面右上