電池片生產(chǎn)工藝流程

1、電池片生產(chǎn)工藝流程電池片生產(chǎn)工藝流程一、制絨一、制絨a.目的目的在硅片的表面形成坑凹狀表面，減少電池片的反射的太陽(yáng)光，增加二次反射的面積。一般情況下，用堿處理是為了得到金字塔狀絨面；用酸處理是為了得到蟲(chóng)孔狀絨面。不管是哪種絨面，都可以提高硅片的陷光作用。b.流程流程1.常規(guī)條件下，硅與單純的HF、HNO3（硅表面會(huì)被鈍化，二氧化硅與HNO3不反應(yīng)）認(rèn)為是不反應(yīng)的。但在兩種混合酸的體系中，硅則可以與溶液進(jìn)行持續(xù)的反應(yīng)。硅的氧化硅的氧化硝酸

2、亞硝酸（HNO2）將硅氧化成二氧化硅（主要是亞硝酸將硅氧化）Si4HNO3=SiO24NO22H2O(慢反應(yīng))3Si4HNO3=3SiO24NO2H2O(慢反應(yīng))二氧化氮、一氧化氮與水反應(yīng)，生成亞硝酸，亞硝酸很快地將硅氧化成二氧化硅。2NO2H2O=HNO2HNO3(快反應(yīng))Si4HNO2=SiO24NO2H2O(快反應(yīng))（第一步的主反應(yīng)）4HNO3NOH2O=6HNO2(快反應(yīng))只要有少量的二氧化氮生成，就會(huì)和水反應(yīng)變成亞硝酸，只要少

3、量的一氧化氮生成，就會(huì)和硝酸、水反應(yīng)很快地生成亞硝酸，亞硝酸會(huì)很快的將硅氧化，生成一氧化氮，一氧化氮又與硝酸、水反應(yīng)，這樣一系列化學(xué)反應(yīng)最終的結(jié)果是造成硅的表面被快速氧化，硝酸被還原成氮氧化物。二氧化硅的溶解二氧化硅的溶解SiO24HF=SiF42H2O(四氟化硅是氣體)SiF42HF=H2SiF6總反應(yīng)總反應(yīng)SiO26HF=H2SiF62H2O但在有外來(lái)O2存在的情況下，PCl5會(huì)進(jìn)一步分解成P2O5并放出氯氣（Cl2）其反應(yīng)式如下：

4、?????????2522510ClO2P2O過(guò)過(guò)5O4PCl在有氧氣的存在時(shí)，POCl3熱分解的反應(yīng)式為：??????252236ClO2P5O4POCl生成的P2O5在擴(kuò)散溫度下與硅反應(yīng)，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反應(yīng)式如下：????4P5SiO5SiO2P252c.結(jié)論結(jié)論由此可見(jiàn)，在磷擴(kuò)散時(shí)，為了促使POCl3充分的分解和避免PCl5對(duì)硅片表面的腐蝕作用，必須在通氮?dú)獾耐瑫r(shí)通入一定流量的氧氣。POCl3分解產(chǎn)生的P2O