四點(diǎn)探針量測(cè)儀使用操作手冊(cè)_第1頁(yè)
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1、1四點(diǎn)探針量測(cè)儀使用操作手冊(cè)四點(diǎn)探針量測(cè)儀使用操作手冊(cè)作者：作者：余沐榮余沐榮光電碩一光電碩一分機(jī)分機(jī):46924692(2007200773030)四點(diǎn)探針量測(cè)儀(FourPointProbe)可以測(cè)量導(dǎo)體及半導(dǎo)體的電阻。本設(shè)備主要用途為量測(cè)半導(dǎo)體薄膜電阻，即片電阻係數(shù)(SheetResistivity)，單位為Ω?或ohmspersquare。(符號(hào)?代表對(duì)一片面積做量測(cè)，並不是代表cm2)可量測(cè)樣品規(guī)格為:(1)2吋至6吋晶圓(表

2、面須為平整的導(dǎo)電薄膜)(2)破片:至少2公分見方以上操作步驟如下操作步驟如下:打開靠近四點(diǎn)探針儀側(cè)面打開靠近四點(diǎn)探針儀側(cè)面(右手邊右手邊)的電源開關(guān)，接著按下電腦的電源開關(guān)，接著按下電腦PowerON鍵後，隨即進(jìn)入主畫面。鍵後，隨即進(jìn)入主畫面。打開開關(guān)打開開關(guān)PowerON測(cè)量破片時(shí)，請(qǐng)勿將待測(cè)樣品置於狹縫之中，以避免探針損壞，如下圖所示:3Cassette操作介面沒有作用(勿動(dòng))。ProbeArm:調(diào)整探針懸臂的移動(dòng)位置調(diào)整探針懸臂的

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