北京航空航天大學機械工程及自動化學院多材料等離子體刻蝕機（重招）采購文件

1、中鋼招標有限責任公司中鋼招標有限責任公司政府采購項目采購文件政府采購項目采購文件項目名稱：北京航空航天大學機械工程及自動化學院多材料等離子體刻蝕機（重招）采購編號：1841STC50380采購人：北京航空航天大學機械工程及自動化學院代理機構(gòu)：中鋼招標有限責任公司中鋼招標有限責任公司2第一章響應邀請中鋼招標有限責任公司接受北京航空航天大學機械工程及自動化學院的委托，對下述采購內(nèi)容進行國內(nèi)采購，現(xiàn)邀請合格的響應人前來響應。1.項目名稱：北京

2、航空航天大學機械工程及自動化學院多材料等離子體刻蝕機（重招）2.采購編號：1841STC503803.資金來源：已落實4.采購預算：48萬元（最高限價：__萬元）5.項目用途：教學6.項目基本概況介紹：包號采購內(nèi)容數(shù)量交貨期交貨地點采購需求01多材料等離子體刻蝕機1套合同簽訂后3個月內(nèi)完成安裝調(diào)試并通過驗收。北京，北京航空航天大學指定地點1)ICP等離子體刻蝕設備，用于4英寸及以下樣品尺寸2)適用于硅基材料的刻蝕工藝，Si刻蝕速率450

3、nmmin3)樣品取放通過LoadLock真空腔室進行，樣片自動在Loadlock腔與工藝腔之間進行傳送，采用矩形門閥作為雙腔之間隔斷閥4)工藝腔與LoadLock均為一體成型鋁腔5)工藝的執(zhí)行為自動化流程6)設備控制系統(tǒng)具有異常警報與處理模塊，具有用戶登錄與用戶權(quán)限分級管理模塊，具有工藝數(shù)據(jù)記錄與機臺狀態(tài)記錄某塊，具有工藝菜單編輯與修改模塊7)人機交互界面為工業(yè)觸摸屏8)設備具備硬件可配置調(diào)節(jié)偏置電壓的功能9)標配四路進氣等具體詳見第