壓力傳感器論文壓電傳感器論文

1、學(xué)術(shù)發(fā)表和寫作資源平臺：.cnQQ：275252867論文發(fā)表聯(lián)系方式論文發(fā)表聯(lián)系方式qq：278121888壓力傳感器論文壓電傳感器論文一種用于壓力傳感器的溫度控制系統(tǒng)設(shè)計一種用于壓力傳感器的溫度控制系統(tǒng)設(shè)計摘要:針對SiC高溫MEMS壓力傳感器易受溫度影響產(chǎn)生零點漂移、測量誤差增大等問題設(shè)計了一種溫度控制系統(tǒng)根據(jù)科恩庫恩公式建立了系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型采用參數(shù)自整定PID控制算法克服了純PID控制有較大超調(diào)量的缺點實現(xiàn)了一個溫度控制系統(tǒng)。利

2、用Matlab仿真軟件的Similink模塊建立系統(tǒng)的仿真模型通過仿真和測試驗證系統(tǒng)滿足設(shè)計要求。解決了大溫度范圍下壓力傳感器難以補償?shù)膯栴}使得壓力傳感器在高溫環(huán)境下的應(yīng)用得以實現(xiàn)提高了壓力傳感器的穩(wěn)定性。關(guān)鍵詞:MEMS壓力傳感器溫度控制零點漂移DesignofTemperatureControlSystemfPressureSenssGUOJiang(CollegeofInfmationEngineeringSouthwestUni

3、versityofScienceTechnologyMianyang621010China)Abstract:AtemperaturecontrolsystemftheSiCMEMSpressuresensisdesignedasthepressuresensissusceptibletohightemperatureeasytoresultinzerodriftmeasurementerrincrease.Amathematicalm

4、odelfthesystemisestablishedaccdingtoCohenCoonfmula.學(xué)術(shù)發(fā)表和寫作資源平臺：.cnQQ：275252867論文發(fā)表聯(lián)系方式論文發(fā)表聯(lián)系方式qq：278121888然而當(dāng)外界溫度較大時壓力傳感器受溫度影響精度不高會產(chǎn)生零點漂移等問題從而增大測量誤差。于是嘗試加工一個腔體把壓力傳感器和溫度傳感器放置在里面形成一個小的封閉腔體在外界溫度較高或較低的情況下用加熱裝置先升溫到幾十度并維持這一溫度給

5、壓力傳感器做零點補償提高壓力傳感器的測量精度。這樣就克服了在大溫度范圍難以補償?shù)膯栴}。本文對這個溫度控制系統(tǒng)提出了解決方案采用了PID參數(shù)自整定控制模糊控制屬于智能控制方法它與PID控制結(jié)合具有適應(yīng)溫控系統(tǒng)非線性、干擾多、時變等特點[13]。1硬件系統(tǒng)用放置在腔體內(nèi)的溫度傳感器測量恒溫箱內(nèi)的溫度產(chǎn)生的信號經(jīng)過放大后輸出反饋信號再用單片機進行采樣由液晶顯示恒溫箱內(nèi)的溫度并通過溫度控制算法控制加熱裝置。所使用的單片機為STC125408AD