爪型干式真空泵的原理研究

1、...多級爪型干式真空泵原理分析多級爪型干式真空泵原理分析唐琳唐琳徐曦徐曦朱紅梅朱紅梅（北京朗禾科技有限公司，北京（北京朗禾科技有限公司，北京100054）摘要：摘要：多級爪型干式真空泵的結(jié)構(gòu)對于其材料消耗、體積、能耗等性能有多級爪型干式真空泵的結(jié)構(gòu)對于其材料消耗、體積、能耗等性能有著非常重要的作用。本文就其原理和國際上最經(jīng)典的兩種結(jié)構(gòu)：螺旋型著非常重要的作用。本文就其原理和國際上最經(jīng)典的兩種結(jié)構(gòu)：螺旋型（德國）（德國）、反爪型（英國）

2、做了介紹和對比，并提出了最新的結(jié)構(gòu)：螺旋、反爪型（英國）做了介紹和對比，并提出了最新的結(jié)構(gòu)：螺旋反爪結(jié)構(gòu)。反爪結(jié)構(gòu)。關(guān)鍵詞：爪型干式真空泵關(guān)鍵詞：爪型干式真空泵“螺旋爪型”干式真空泵“螺旋爪型”干式真空泵“反爪型干式真空“反爪型干式真空泵”泵”“螺旋反爪型干式真空泵”“螺旋反爪型干式真空泵”PrincpleofclawdrypumpAbstract：Keywds:clawdrypumpnewestprincple多級爪型干式真空泵是上世

3、紀(jì)末其快速發(fā)展成熟的新型真空泵，由多級爪型干式真空泵是上世紀(jì)末其快速發(fā)展成熟的新型真空泵，由于其如下突出優(yōu)點(diǎn)：泵腔內(nèi)無油、對被抽容器沒有油污染、并能直排大于其如下突出優(yōu)點(diǎn)：泵腔內(nèi)無油、對被抽容器沒有油污染、并能直排大氣、單泵就能達(dá)到氣、單泵就能達(dá)到3帕等，在電子行業(yè)得到了非常廣泛的應(yīng)用，替代了帕等，在電子行業(yè)得到了非常廣泛的應(yīng)用，替代了油封機(jī)械泵以及滑閥真空泵。由于其性能卓越而越來越廣泛的應(yīng)用于航油封機(jī)械泵以及滑閥真空泵。由于其性能卓越

4、而越來越廣泛的應(yīng)用于航天、核工業(yè)、化工、制藥、環(huán)保等行業(yè)、并逐年成上升的趨勢。天、核工業(yè)、化工、制藥、環(huán)保等行業(yè)、并逐年成上升的趨勢。其主要的結(jié)構(gòu)型式有：其主要的結(jié)構(gòu)型式有：1）螺旋型）螺旋型2）反爪型；其結(jié)構(gòu)各有優(yōu)勢，相）反爪型；其結(jié)構(gòu)各有優(yōu)勢，相比較而言反爪型比螺旋型優(yōu)勢更明顯。但由于其結(jié)構(gòu)限制，泵的抽速目比較而言反爪型比螺旋型優(yōu)勢更明顯。但由于其結(jié)構(gòu)限制，泵的抽速目...1、螺旋型的結(jié)構(gòu)和性能：螺旋型的結(jié)構(gòu)和性能：a螺旋型結(jié)構(gòu)的三

5、維示意圖：螺旋型結(jié)構(gòu)的三維示意圖：圖一b螺旋型結(jié)構(gòu)原理圖：螺旋型結(jié)構(gòu)原理圖：在第一級的排氣口在第一級的排氣口1位置，設(shè)計(jì)一個(gè)長長的通道位置，設(shè)計(jì)一個(gè)長長的通道5，以便于第一級排，以便于第一級排出去的氣體能進(jìn)入第二級的進(jìn)氣口出去的氣體能進(jìn)入第二級的進(jìn)氣口4B.同時(shí)，為了保證在第一級排氣時(shí)，同時(shí)，為了保證在第一級排氣時(shí)，第二級泵體第二級泵體3B開始吸氣，所以，第二級的同步轉(zhuǎn)子對比第一級落后一定開始吸氣，所以，第二級的同步轉(zhuǎn)子對比第一級落后一

6、定角度的相位差為角度的相位差為a2a1，通過研究發(fā)現(xiàn)，通過研究發(fā)現(xiàn)a2a1=30度120度之間都是合度之間都是合理，最合理的角度還需要進(jìn)一步研究。第三點(diǎn)，通道理，最合理的角度還需要進(jìn)一步研究。第三點(diǎn)，通道5要不能設(shè)計(jì)得太要不能設(shè)計(jì)得太小。依此方法來設(shè)計(jì)第三級轉(zhuǎn)子對以及第四級轉(zhuǎn)子對和通道，就會發(fā)現(xiàn)小。依此方法來設(shè)計(jì)第三級轉(zhuǎn)子對以及第四級轉(zhuǎn)子對和通道，就會發(fā)現(xiàn)各級轉(zhuǎn)子依次沿著轉(zhuǎn)子對旋轉(zhuǎn)的方向落后于上一級，串聯(lián)在主軸上就呈各級轉(zhuǎn)子依次沿著轉(zhuǎn)子