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1、LED藍(lán)寶石基板產(chǎn)品結(jié)構(gòu)圖?LED藍(lán)寶石基板20113116:19藍(lán)寶石(Al2O3,英文名為Sapphire)為製成氮化鎵(GaN)磊晶發(fā)光層的主要基板材質(zhì),GaN可用來製作超高亮度藍(lán)光、綠光、藍(lán)綠光、白光LED。1993年日亞化(Nichia)開發(fā)出以氮化鎵(GaN)為材質(zhì)的藍(lán)光LED,配合MOVPE(有機(jī)金屬氣相磊晶法)的磊晶技術(shù),可製造出高亮度的藍(lán)光LED。藍(lán)寶石的組成為氧化鋁(A12O3)是由三個氧原子和兩個鋁原子以共價鍵型式
2、結(jié)合,晶體結(jié)構(gòu)為六方晶格結(jié)構(gòu),藍(lán)寶石的光學(xué)穿透帶很寬,從近紫外光(190nm)到中紅外線都有很好的透光性,並且具備高聲速、耐高溫、抗腐蝕、高硬度、熔點高(20452度C)等特點,常作為光電元件材料。就超高亮度白藍(lán)光LED品質(zhì)取決於氮化鎵磊晶(GaN)的材料品質(zhì),因此與所採用的藍(lán)寶石基板表面加工品質(zhì)有關(guān),藍(lán)寶石(單晶A12O3)C面與IIIV和IIVI族沈積薄膜之間的晶格常數(shù)失配率小,同時符合GaN磊晶製程耐高溫的要求,因此藍(lán)寶石基板成為
3、製作白藍(lán)綠光LED的關(guān)鍵材料。藍(lán)光LED晶粒的長晶材料的藍(lán)寶石基板是由藍(lán)寶石晶棒切割而成,藍(lán)寶石晶棒是將氧化鋁(Al2O3)的單晶作為長晶的基礎(chǔ),採拉晶法培育生長,培育方法因各家廠商參數(shù)不同而有不同純度。藍(lán)寶石晶體常用生長方法:1.柴氏拉晶法(簡稱CZ法):是將原料加熱至熔點後熔化成熔湯,再利用單晶晶體接觸熔湯表面,在晶種與熔湯的固液界面上因溫度差異而形成過冷,因此熔湯開始在晶種表面凝固並生長和晶種相同晶體結(jié)構(gòu)的單晶,晶種同時以緩慢的速
4、度往上拉升,並以一定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn),熔湯逐漸凝固於晶種液固界面上,形成一軸對稱的單晶晶錠。2.凱氏長晶法(簡稱KY法):原與CZ法類似,將原料加熱至熔點後熔化成熔湯,再以單晶之晶種接觸到熔湯表面,在晶種與熔湯的固液界面上開始生長和晶種相同晶體結(jié)構(gòu)的單晶,晶種以緩慢的速度往上拉升,但在晶種往上拉形成晶頸後,等熔湯與晶種界面的凝固速度穩(wěn)定後,晶種即不再拉升,也不做旋轉(zhuǎn),僅控制冷卻速度使單晶從上方逐漸往下凝固,凝固為一整個單晶晶錠。細(xì)分藍(lán)寶石基板
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