基于石英加速度傳感器的加速度測量系統(tǒng)關鍵技術研究.pdf

1、加速度是描述物體速度變化快慢的物理量，是測量控制領域的重要參數，而加速度傳感器也是慣性導航技術中的核心器件之一。高精度的加速度測量在工業(yè)技術和國防科研建設上有著十分重要的應用價值。隨著各領域技術的發(fā)展，人們對于加速度測量的實用性、便利性、精度等要求越來越高，加速度傳感器也向著微型化、高精度等方面不斷發(fā)展，并出現了多種應用于不同環(huán)境下的加速度傳感器。而本課題中使用的是石英撓性加速度傳感器，旨在對加速度進行高精度測量。
　　本課題根據

2、石英加速度傳感器內部的差動電容結構，設計了一種利用諧振電路幅頻特性測量加速度的高精度、高穩(wěn)定度的測量方法。該測量方法基于輸入信號在不同諧振頻率時幅度不同的測量原理，利用其輸出一個與差動電容差值線性相關的直流電壓，并對其進行放大、校正等處理后將模擬直流量反饋給加速度傳感器的加矩電路以使傳感器回歸平衡位置。同時再利用A/D轉換對其輸出信號采樣，以獲得加速度的相關數據。采集的數據通過FPGA讀取以及USB控制芯片傳輸，以數據流的形式上傳給上位