抗鹽霧寬帶增透膜的研制.pdf

1、分類號：0484UDC：535密級：亙公五編號：抗鹽霧寬帶增透膜的研制StudyandFabricationofAnti—SaltSprayBroadbandAntireflectiveFilm學位授予單位代碼：量查堡王太堂(!Q!墨魚2學科專業(yè)名稱及代碼：堂堂(QZQ2QZ2研究方向：光筐!曼佳撿量處理堇盔申請學位級別：亟指導教師：塑I迨篷塾援研究生：塑蝰論文起止時間：四1209201312摘要為了滿足光學儀器在雨天、海洋等環(huán)境下的使

2、用，研制了具有抗鹽霧特性的420“～820nnl波段寬帶增透膜。根據(jù)抗鹽霧寬帶增透膜的技術要求，選用Ta205、Si02和A1203三種光學薄膜材料，結(jié)合雙有效界面法原理，使用膜系設計軟件設計并優(yōu)化膜系。通過實驗分析了膜厚誤差產(chǎn)生的原因，借助膜系設計軟件對測試結(jié)果進行模擬優(yōu)化并補償，通過在制備過程中改變每種材料的修正系數(shù)，并對工藝參數(shù)進行反復優(yōu)化調(diào)整，解決了厚度誤差對光譜特性的影響，最終制備的具有抗鹽霧功能的寬帶增透膜，在420～820