基于霍爾傳感器磁場檢測的低流速測量研究.pdf

1、在微/納制造、生物傳感檢測、化學(xué)化工和臨床醫(yī)學(xué)等研究領(lǐng)域，常常需要對流體的流量和流速進行精確的檢測和控制。人們根據(jù)不同的檢測原理和不同的應(yīng)用領(lǐng)域設(shè)計出各種各樣的流速傳感器，然而，低流速時流道結(jié)構(gòu)尺寸效應(yīng)、傳感器的物理和電學(xué)性質(zhì)存在高維的耦合，采用傳統(tǒng)方法進行低流速檢測存在檢測誤差大、成本高的缺點。因此，高精度的低流速檢測成為人們研究的熱點。本文對磁性轉(zhuǎn)子經(jīng)過線性霍爾傳感器工裝位置時磁場強度大小的變化規(guī)律進行研究，并基于理論分析和線性霍爾

2、傳感器的磁場強度檢測原理提出了一種新型的流速傳感器，實驗結(jié)果表明，相比于開關(guān)霍爾流速傳感器，新型傳感器對低流速流體的流速檢測具有更高的精度。
　　首先研究了容積型流速傳感器磁性轉(zhuǎn)子經(jīng)過傳感器工裝位置的的磁場變化規(guī)律，并根據(jù)空間幾何變化和磁場強度分布推導(dǎo)出轉(zhuǎn)子速度與工裝位置的磁強度變化關(guān)系，建立了霍爾電壓、磁場強度、轉(zhuǎn)子角速度、轉(zhuǎn)速與流速之間關(guān)系的數(shù)學(xué)理論模型，理論研究表明，轉(zhuǎn)子角速度與工裝位置的磁場變化具有線性關(guān)系。
　　其