微電子廠房中的SMIF-微環(huán)境系統(tǒng)及其流場(chǎng)的數(shù)值模擬.pdf

1、該文討論了IC產(chǎn)品對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級(jí)要求更高的原因,介紹了SMIF/微環(huán)境技術(shù)的理論基礎(chǔ)-隔離技術(shù),以及SMIF系統(tǒng)的構(gòu)成,從技術(shù)與經(jīng)濟(jì)方面,將使用SMIF/微環(huán)境產(chǎn)品的電子工業(yè)潔凈廠房與傳統(tǒng)的潔凈廠房進(jìn)行了比較,分析了前者比后者優(yōu)越的原因,并以一個(gè)使用SMIF/微環(huán)境技術(shù)的潔凈廠房進(jìn)行了比較,分析了前者比后者優(yōu)越的原因,并以一個(gè)使用SMIF/微環(huán)境技術(shù)的潔凈廠房為例,實(shí)際地論證了SMIF/微環(huán)境技術(shù)的優(yōu)點(diǎn).最后,簡(jiǎn)要地介紹了與SM

2、IF/微環(huán)境技術(shù)有關(guān)的一些標(biāo)準(zhǔn),并且對(duì)SMIF/微環(huán)境技術(shù)的缺點(diǎn)進(jìn)行了分析.在評(píng)價(jià)SMIF/微環(huán)境技術(shù)的性能時(shí),除空氣中粒子數(shù)外,該文還引入了PWP值(每次SMIF機(jī)械操作后,沉積在每一塊硅片上的粒子數(shù)),并針對(duì)這兩者分別例舉了一個(gè)實(shí)驗(yàn),以討論SMIF裝置的發(fā)塵.為了更好地研究SMIF/微環(huán)境的性能,了解微環(huán)境內(nèi)的流場(chǎng),觀察渦流及死區(qū)出現(xiàn)的部位,分析其產(chǎn)生的原因,受蘇凈集團(tuán)委托,該課題利用計(jì)算流體力學(xué)(CFD)知識(shí),編制了一個(gè)模擬微環(huán)境