新型差分反射光譜技術(shù)與應(yīng)用.pdf_第1頁(yè)
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1、差分反射光譜(Differential Reflectance Dpectrum)技術(shù)是一種重要的調(diào)制光譜技術(shù).它是通過(guò)測(cè)量?jī)蓸悠坊蛲粯悠返膬上嗯R部分的反射率差別隨入射光子能量的變化關(guān)系而得到的一種空間調(diào)制光譜.它兼有PR的非接觸式測(cè)量和ER的高信噪比兩方面的優(yōu)點(diǎn),因而在半導(dǎo)體材料的物理性質(zhì)和光學(xué)性質(zhì)的研究方面有很大的發(fā)展?jié)摿?引起人膠的日益重視.論文第二章主要是調(diào)制光譜和差反射光的基本理論,簡(jiǎn)述了調(diào)光譜特點(diǎn)和DR測(cè)試系統(tǒng)組成.第三章

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