新型差分反射光譜技術(shù)與應(yīng)用.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、差分反射光譜(Differential Reflectance Dpectrum)技術(shù)是一種重要的調(diào)制光譜技術(shù).它是通過測量兩樣品或同一樣品的兩相臨部分的反射率差別隨入射光子能量的變化關(guān)系而得到的一種空間調(diào)制光譜.它兼有PR的非接觸式測量和ER的高信噪比兩方面的優(yōu)點,因而在半導(dǎo)體材料的物理性質(zhì)和光學(xué)性質(zhì)的研究方面有很大的發(fā)展?jié)摿?引起人膠的日益重視.論文第二章主要是調(diào)制光譜和差反射光的基本理論,簡述了調(diào)光譜特點和DR測試系統(tǒng)組成.第三章

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