MOCVD原位監(jiān)測系統(tǒng)軟件設(shè)計.pdf

1、MOCVD設(shè)備作為LED產(chǎn)業(yè)鏈上游的重要設(shè)備之一，國內(nèi)研發(fā)起步較晚，在其原位監(jiān)測系統(tǒng)方面尤其短缺，本文以MOCVD原位監(jiān)測系統(tǒng)為研究對象，旨在設(shè)計出一套可用于南昌大學自主研發(fā)的大型MOCVD設(shè)備的原位監(jiān)測系統(tǒng)，通過硬件設(shè)計及軟件開發(fā)，力圖為外延片生長過程的觀測，原位監(jiān)測系統(tǒng)的思路拓展提供參照。
　　本文主要工作內(nèi)容包括硬件設(shè)計及軟件開發(fā)。硬件設(shè)計中，通過多種芯片對比，選用DSP為SOC系統(tǒng)核心，完成局部電路設(shè)計及模塊設(shè)計。繼而對比

2、串口通信，以太網(wǎng)通信及無線通信三種通信方式，選用合理方案。之后根據(jù)設(shè)備實際需求，使用程控放大器對微弱溫度信號放大并整波，通過小波變換的濾波方式對信號的強噪聲進行處理。加以整合后完成硬件部分的設(shè)計工作。
　　軟件開發(fā)主要從軟件的整體結(jié)構(gòu)，通信協(xié)議設(shè)計，數(shù)據(jù)庫模塊及數(shù)據(jù)處理模塊展開工作。通信協(xié)議基于TCP協(xié)議及RS232通信協(xié)議分別進行改寫，根據(jù)MOCVD數(shù)據(jù)傳輸特點，減少部分控制字，提高有用信號占比，提升傳輸效率。數(shù)據(jù)庫模塊對比了M

3、SSQL，F(xiàn)ireBird，ACCESS三種不同數(shù)據(jù)庫，基于數(shù)據(jù)庫處理速度及數(shù)據(jù)庫兼容性選用ACCESS作為軟件數(shù)據(jù)庫，并有針對性的設(shè)計數(shù)據(jù)表結(jié)構(gòu)。數(shù)據(jù)處理模塊完成了從下位機上傳的原始數(shù)據(jù)處理為可用的實際數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)篩選，可視化處理及數(shù)據(jù)壓縮的工作。在完成以上工作后通過軟件整體設(shè)計，建立可視化界面，完成可用于實際生產(chǎn)的MOCVD原位監(jiān)測系統(tǒng)上位機軟件。
　　通過以上工作，完成原位監(jiān)測系統(tǒng)樣機并進行整體調(diào)試，調(diào)試結(jié)果良好，通信及數(shù)據(jù)傳