宏微驅(qū)動回轉(zhuǎn)進(jìn)給系統(tǒng)研究.pdf

1、宏微驅(qū)動技術(shù)是隨著超精密技術(shù)的需求應(yīng)運(yùn)而生的。由于該技術(shù)能滿足較大的運(yùn)動范圍和較高的運(yùn)動精度要求，所以它被廣泛的應(yīng)用于微電子、航空航天、軍事等高科技領(lǐng)域。國內(nèi)外對宏微驅(qū)動的直線進(jìn)給技術(shù)研究比較多，但作為主要運(yùn)動形式之一的回轉(zhuǎn)運(yùn)動，宏微驅(qū)動技術(shù)在此的技術(shù)研究卻很少。
　　本文在對國內(nèi)外相關(guān)宏微技術(shù)文獻(xiàn)的研究基礎(chǔ)上，設(shè)計了一套可將直線微動轉(zhuǎn)換為回轉(zhuǎn)運(yùn)動的回轉(zhuǎn)進(jìn)給系統(tǒng)，用運(yùn)動學(xué)方法計算分析微動機(jī)構(gòu)運(yùn)動轉(zhuǎn)換特性，通過實(shí)驗檢驗其傳動特性，分

2、析計算其承載特性，并對相關(guān)宏動回轉(zhuǎn)軸進(jìn)行檢測實(shí)驗。本文的主要研究內(nèi)容包括:
　　(1)在大量查閱國內(nèi)外文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上，提出宏微驅(qū)動回轉(zhuǎn)進(jìn)給系統(tǒng)的設(shè)計方案，完成系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計;
　　(2)分析該系統(tǒng)的特性，對其重點(diǎn)研究內(nèi)容進(jìn)行規(guī)劃;
　　(3)用運(yùn)動學(xué)方法分析計算微動機(jī)構(gòu)的運(yùn)動轉(zhuǎn)換特性，并用實(shí)驗檢驗其傳動特性，最后用有限元分析其傳動轉(zhuǎn)換特性;
　　(4)用雅克比矩陣分析計算微動機(jī)構(gòu)的承載特性，并用實(shí)驗檢驗微動機(jī)構(gòu)的剛