基于LabVIEW的熱電器件微區(qū)接觸電阻檢測系統(tǒng).pdf

1、隨著社會對清潔能源的需求愈加迫切，溫差發(fā)電技術(shù)越來越受到人們的重視，熱電器件應(yīng)用得以不斷推廣，人們對于半導(dǎo)體材料與金屬電極之間接觸電阻的低阻性要求越來越高。在目前熱電器件半導(dǎo)體材料取得突破性進(jìn)展之前，可設(shè)法通過改進(jìn)材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)，改善生產(chǎn)工藝等方法以優(yōu)化其性能，提高溫差發(fā)電轉(zhuǎn)換的效率。而目前對于接觸電阻的絕大多數(shù)研究僅僅停留在電阻數(shù)值這一層面上，沒有對其接觸的微小區(qū)域的電阻變化趨勢和變化規(guī)律進(jìn)行測量研究，無法為改善生產(chǎn)工藝等提供理論支持，

2、因此對于微小區(qū)域接觸電阻阻值檢測并分析其變化規(guī)律具有重要的意義。
　　本文對于熱電器件微區(qū)接觸電阻的檢測進(jìn)行了理論與實(shí)驗(yàn)性的研究。論文首先對傳統(tǒng)接觸電阻的測量方法進(jìn)行了分析，在此基礎(chǔ)上提出了系統(tǒng)的理論模型。針對本系統(tǒng)測量對象的特點(diǎn)，同時(shí)考慮到經(jīng)濟(jì)因素，設(shè)計(jì)了適用于本系統(tǒng)的硬件電路，完成了相應(yīng)的下位機(jī)軟件開發(fā)。其次，論文基于LabVIEW軟件這一開發(fā)平臺，設(shè)計(jì)研發(fā)了微區(qū)接觸電阻的測試系統(tǒng)進(jìn)行人機(jī)交互，該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)對三維移動(dòng)平臺的精

3、確控制，帶動(dòng)探針在熱電器件表面連續(xù)取點(diǎn)，從而獲得接觸電阻的微區(qū)分布以及變化規(guī)律，并可以根據(jù)實(shí)際測量需要調(diào)整測量步長，測量結(jié)束后對相應(yīng)的歷史數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲的功能。同時(shí)兼顧適用范圍廣、可靠性高、經(jīng)濟(jì)成本低等諸多技術(shù)優(yōu)點(diǎn)。通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證表明：該檢測系統(tǒng)具有較高的檢測精度，最大測量誤差為0.394％；可實(shí)現(xiàn)接觸點(diǎn)電阻的微區(qū)測量，獲得接觸電阻阻值分布，最小測量步長為1μm；系統(tǒng)具有較高的穩(wěn)定性，并可存儲不同樣品的測試數(shù)據(jù)，以供后續(xù)實(shí)驗(yàn)比較分析，可根據(jù)