垂直腔面發(fā)射紅外激光器的研究.pdf

1、分類號：密級：UDC：編號：垂直腔面發(fā)射紅外激光器的研究VerticalCavitySurfaceEmittingInfraredLaserResearch學位授予單位及代碼：長春理工大學（10186）工程領域名稱及代碼：機械工程(085201)研究方向：精密、超精密加工、檢測及裝備申請學位級別：碩士指導教師：王景奕研究生：韓崎峰論文起止時間：2013.09—2015.06摘要論文題目為垂直腔面發(fā)射紅外激光器的研究，主要是設計出了波長為

2、980nm的垂直腔面發(fā)射激光器。VCSEL具有體積小、發(fā)散角小、閥值電流低、可實現(xiàn)光纖耦合、利于二維集成等特點。激光器具有的上述特點以及其獨特的出光方式，使得該器件在實際的應用中具有很好的發(fā)展前景。在論文中，主要是通過深入的理論分析來研究垂直腔面發(fā)射紅外激光器的原理以及具體的制作流程，具體內(nèi)容如下：首先，在反射鏡的結構設計中，采用的是分布布拉格反射鏡作為垂直腔面發(fā)射激光器的反射鏡，這種反射鏡可以使反射率達到99%以上。在光腔的設計中，主

3、要是設計光腔的長度以及在有源區(qū)中采用了多量子結構。氧化限制層的設計中，首先是對限制層的結構進行分析，然后詳細地闡述了該層的作用。其次，在第三章中主要闡述了制作的工藝流程，工藝流程主要分為：濕法腐蝕工藝、氧化工藝以及歐姆接觸。此外，在外延生長的過程中，主要是采用了分子束外延技術的方法來完成生長。最后，對研制出的激光器進行測試，在測試過程中，主要是通過有限元對激光器進行熱分析以及對激光器的光電特性進行測試。關鍵字：分布布拉格反射鏡；量子阱；