異質(zhì)結(jié)太陽電池襯底陷光優(yōu)化及其應(yīng)用.pdf

1、硅異質(zhì)結(jié)(SHJ)太陽電池以其低溫制備、低成本、高轉(zhuǎn)換效率和高穩(wěn)定性，成為近年來太陽電池研究的熱點(diǎn)。硅片表面制絨可增強(qiáng)光吸收，減少太陽光的反射，提高太陽電池效率。目前較為常見的制絨方法大多采用無機(jī)堿NaOH/KOH制絨、硅酸鈉制絨，碳酸鈉/碳酸氫鈉制絨等，這些制絨方法的優(yōu)點(diǎn)是工藝成熟，價格低廉。缺點(diǎn)是易引入Na、K金屬離子污染。而四甲基氫氧化銨(TMAH)是一種有機(jī)堿，無害，高各向異性選擇比，無金屬離子污染的試劑。本文利用有機(jī)堿-四甲基

2、氫氧化銨(TMAH)制絨，優(yōu)化了硅片的光學(xué)特性、電學(xué)性能和硅片表面形貌，找出了適合異質(zhì)結(jié)太陽電池的硅片襯底工藝參數(shù)。主要的研究如下：
　　(1)用酸或堿刻蝕切割片，去除硅片表面損傷層后，用同樣條件制絨，研究初始硅片形貌對硅片絨面和后續(xù)鈍化的硅片的少子壽命的影響。利用高濃度堿液去除硅片表面損傷層，獲得平整、缺陷少的平面。制絨后的金字塔布滿表面，均勻獨(dú)立，有利于反射的降低和硅片的鈍化。利用混酸去除硅片表面損傷層，獲得凹凸的溝壑表面，制

3、絨后的金字塔未布滿表面，有較多缺陷，不利于反射率的降低和后續(xù)鈍化效果。
　　(2)采用TMAH對硅單晶進(jìn)行高效制絨。分別控制TMAH濃度、溶液溫度、腐蝕時間和異丙醇（IPA）濃度進(jìn)行硅片制絨，研究這些參數(shù)對絨面效果和襯底陷光特性的影響，從而得到優(yōu)化的TMAH制絨的條件，并將優(yōu)化后的襯底應(yīng)用到硅異質(zhì)結(jié)(SHJ)太陽電池上，改善電池性能，使電池效率由14.4％提高到17.8%。
　　(3)在優(yōu)化的絨面金字塔條件下，采用金屬輔助化