2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩74頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、因具有摩擦小、精度高、無(wú)污染、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),氣體軸承被廣泛應(yīng)用于微電子制造和超精密定位設(shè)備中,而隨著下一代光刻曝光、激光干涉測(cè)量和半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展,超精密運(yùn)動(dòng)定位不僅要求定位精度更高,還要求必須在真空或超潔凈環(huán)境中進(jìn)行,但真空環(huán)境下靜壓氣體軸承性能與大氣環(huán)境下相比較變化顯著。目前對(duì)于真空條件下靜壓氣體軸承潤(rùn)滑理論的研究比較少,而且多以單一的連續(xù)流為基礎(chǔ),未考慮過渡流和分子流對(duì)軸承內(nèi)部流場(chǎng)的影響。針對(duì)此問題,本文以單供氣孔應(yīng)用于真空環(huán)

2、境的盤型靜壓止推軸承作為研究對(duì)象,對(duì)真空環(huán)境下軸承的氣體內(nèi)流場(chǎng)進(jìn)行了理論分析和實(shí)驗(yàn)研究,主要完成了以下幾方面的工作:
  (1)將真空環(huán)境氣體軸承內(nèi)流場(chǎng)分為入口區(qū)域、承載區(qū)域和密封區(qū)域三個(gè)部分分別進(jìn)行分析,其中,根據(jù)氣體薄膜的潤(rùn)滑原理,采用D-T模型和一階滑移模型對(duì)真空環(huán)境下氣體軸承承載區(qū)的潤(rùn)滑問題進(jìn)行了重點(diǎn)研究。將軸承的參數(shù)無(wú)量綱化后,通過D-T模型分析得到,增大承載區(qū)無(wú)量綱入口壓力、無(wú)量綱入口區(qū)域半徑,減小軸承外徑和氣膜厚度的

3、比值,可以使連續(xù)流到分子流轉(zhuǎn)變位置外移,提高了氣體軸承的相對(duì)承載能力,通過一階滑移模型分析認(rèn)為,在其他條件不變的情況下,增大邊界克努森數(shù)會(huì)使軸承的承載能力下降;
  (2)建立了以真空環(huán)境為邊界條件的仿真模型,采用COMSOL軟件模擬了入口區(qū)域、承載區(qū)域和密封區(qū)域的壓力場(chǎng)分布,分析認(rèn)為,入口區(qū)域的流動(dòng)復(fù)雜,但由于所占比重比較小,為軸承提供的承載力有限,而承載區(qū)域是軸承承載力的主要來(lái)源,與大氣環(huán)境下相比,真空環(huán)境下氣體軸承的承載能力

4、有所提高,由于氣體稀薄效應(yīng),提高量少于大氣環(huán)境時(shí)軸承上表面所受的大氣壓力,密封區(qū)域的氣體壓力由于抽氣系統(tǒng)的作用變得很稀薄,需要用分子流模塊來(lái)模擬,模擬得到了不同排氣槽尺寸和氣膜厚度是的壓力分布,結(jié)果顯示氣膜厚度增大,排氣槽處的壓力降低,減小排氣槽深度有利于提高軸承的密封性能,減小排氣槽寬度,排氣槽處的壓力會(huì)增加,對(duì)軸承的密封性能的影響需綜合考慮密封寬度的增加產(chǎn)生的結(jié)果;
  (3)對(duì)加工的實(shí)驗(yàn)真空環(huán)境氣體軸承進(jìn)行了數(shù)值計(jì)算,并通過

5、搭建的真空環(huán)境下靜壓氣體軸承的性能實(shí)驗(yàn)裝置,加載不同負(fù)載時(shí),測(cè)量了氣膜厚度、承載區(qū)入口壓力、一級(jí)排氣槽軸承和兩級(jí)排氣槽軸承排氣槽處壓力相應(yīng)情況下真空室的壓力,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,相同負(fù)載下,真空環(huán)境時(shí)的氣膜厚度比大氣環(huán)境下有了很大增加,氣膜厚度增加時(shí),氣體軸承的泄漏量先增大后減?。?br>  (4)將實(shí)驗(yàn)結(jié)果和理論分析與數(shù)值仿真相結(jié)合來(lái)分析,總結(jié)了理論方法和數(shù)值仿真方法,對(duì)比結(jié)果表明一階滑移模型和COMSOL仿真結(jié)果與實(shí)驗(yàn)符合得比較好,另外還

6、對(duì)真空氣體軸承的設(shè)計(jì)提出了優(yōu)化的方法,結(jié)果認(rèn)為增大排氣系統(tǒng)泵的抽速有利于降低排氣槽出的壓力,提高軸承的密封性,但要兼顧實(shí)際情況和經(jīng)濟(jì)成本來(lái)選取,對(duì)于兩級(jí)排氣槽軸承,還需合理地分配第一級(jí)和第二級(jí)密封寬度。
  通過本課題的研究,期望利用對(duì)真空環(huán)境氣體軸承的內(nèi)部流場(chǎng)的理論分析、仿真和實(shí)驗(yàn)研究,獲得性能計(jì)算方法和減少氣體泄漏提高軸承密封性能的方法,其中主要考慮了氣體稀薄效應(yīng)的影響,為氣體軸承在真空環(huán)境下的應(yīng)用提供一定的理論支撐,為氣體軸

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論