中芯國際成都封裝測試廠設(shè)備綜合效率系統(tǒng)的設(shè)計與實(shí)現(xiàn).pdf

1、半導(dǎo)體制造技術(shù)在不斷變化，產(chǎn)品的多樣性，在工序的復(fù)雜度越來越高的狀態(tài)下，對設(shè)備的高精度化，設(shè)備的自動化程度也越來越高，而半導(dǎo)體制造業(yè)的設(shè)備價格也日益昂貴起來。其更新與維護(hù)占企業(yè)投資成本的最大比重，因此，挖掘出設(shè)備的最高利用率使其發(fā)揮其全部的生產(chǎn)能力為公司創(chuàng)造最大利潤是企業(yè)高管們都在思考的一個問題，也是企業(yè)決定芯片制造成本的重要因素之一。
　　本文所研究的內(nèi)容是當(dāng)前 CIM系統(tǒng)中生產(chǎn)設(shè)備效能跟蹤系統(tǒng) OEE(Owerall Equi

2、pment Efficiency)系統(tǒng)，它是與半導(dǎo)體制造設(shè)備聯(lián)系得最為密切的應(yīng)用程序。它通過與機(jī)臺連接的SECS（SEMI Equipment Communication Standard）通信協(xié)議取得以機(jī)臺的連接，從而達(dá)到自動收集設(shè)備生產(chǎn)運(yùn)行數(shù)據(jù)用于設(shè)備效能計算，OEE系統(tǒng)將作為最底層的接口來實(shí)現(xiàn)CIM系統(tǒng)與設(shè)備效能管理系統(tǒng)的連接，并將數(shù)據(jù)以特定的格式寫入日志文件中。利用后臺腳本程序進(jìn)行數(shù)據(jù)庫連接與操作，日志文本的獲取與解析，通過公司

3、網(wǎng)絡(luò)獲取各個OEE客戶端的日志文件，并運(yùn)用OEE的后臺程序以相同的方法進(jìn)行讀取，解析出所需的數(shù)據(jù)并把這些數(shù)據(jù)存入數(shù)據(jù)庫，再利用數(shù)據(jù)庫處理語言PL/SQL對數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，并把每種類型的設(shè)備數(shù)據(jù)進(jìn)行匯總。從而計算機(jī)出切實(shí)有效的產(chǎn)能效率數(shù)據(jù)，使管理者清楚的知道當(dāng)前的設(shè)備效率信息。更進(jìn)一步，OEE系統(tǒng)不僅僅看到生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)行效率信息，根據(jù)設(shè)備具體的各種操作運(yùn)行的時間的統(tǒng)計，分析影響企業(yè)設(shè)備損失效率的關(guān)鍵因素。從而為企業(yè)提高生產(chǎn)力，減少浪費(fèi)，節(jié)約