超光滑表面的積分散射測(cè)量?jī)x器研究.pdf

1、激光陀螺反射鏡基片的表面質(zhì)量，影響著激光陀螺的閉鎖閾值，決定了激光陀螺的精度。隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大，人工檢測(cè)方法暴露出隨機(jī)性大、效率低等問(wèn)題，研制出針對(duì)激光陀螺反射鏡表面缺陷的快速檢測(cè)、定位儀器很有必要。
　　論文根據(jù)積分散射測(cè)量原理對(duì)超光滑反射鏡基片表面缺陷檢測(cè)進(jìn)行了原理實(shí)驗(yàn)，對(duì)實(shí)驗(yàn)中出現(xiàn)的光源功率波動(dòng)、雜散光干擾和散射光方向性等關(guān)鍵問(wèn)題進(jìn)行了研究，對(duì)工程化樣機(jī)中的關(guān)鍵部件根據(jù)研究結(jié)果進(jìn)行了軟硬件的重新設(shè)計(jì)，并完成了樣機(jī)的裝調(diào)和初

2、步測(cè)試。
　　為解決光源功率波動(dòng)的影響問(wèn)題，研究了光源的穩(wěn)定性和不同導(dǎo)光方式的優(yōu)缺點(diǎn)，設(shè)計(jì)了專(zhuān)用斬波器，完成了儀器導(dǎo)光光路設(shè)計(jì)。為解決雜散光對(duì)測(cè)試的干擾問(wèn)題，利用FRED軟件對(duì)測(cè)試光路進(jìn)行了建模分析，研究了不同入射位置下樣品的雜散光表現(xiàn)，設(shè)計(jì)了共焦聚焦鏡組，通過(guò)仿真實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了鏡組雜散光屏蔽的有效性，光路雜散光系數(shù)優(yōu)于0.01。為解決散射光的方向性及缺陷定位需求問(wèn)題，研究分析了不同組合方案和掃描流程的優(yōu)劣，優(yōu)化了多角度掃描測(cè)試的測(cè)試