激光束束形參數(shù)檢測技術(shù)研究.pdf

1、作為高精度測試裝置的激光器，其設(shè)計(jì)和加工精度、輸出參數(shù)的準(zhǔn)確度、與設(shè)計(jì)值的偏差程度、工作期間的穩(wěn)定性將直接傳遞到被測件的測量中，因此激光器自身輸出參數(shù)的測試顯得尤為重要。本文采用四波橫向剪切干涉法對激光束參數(shù)進(jìn)行檢測研究，其具有分辨率高、操作性強(qiáng)、穩(wěn)定性好、對振動(dòng)不敏感以及結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)。
　　在對目前常用的波前檢測方法進(jìn)行深入研究及討論的基礎(chǔ)上，本文詳細(xì)論述了四波橫向剪切干涉的基本工作原理。實(shí)現(xiàn)該原理的二維衍射光柵作為其關(guān)鍵器件

2、，它是在傳統(tǒng)的哈特曼波前傳感器掩膜板的基礎(chǔ)上加工了具有一定相位差值的相位光柵。四波橫向剪切干涉系統(tǒng)由一個(gè)二維衍射光柵和一個(gè)CCD相機(jī)組成。當(dāng)光束通過二維衍射光柵后，在CCD相機(jī)的接收屏就會(huì)產(chǎn)生剪切光斑，從而形成干涉圖。空間載頻法對實(shí)驗(yàn)裝置沒有特殊要求，可在動(dòng)態(tài)測量中進(jìn)行相位與光強(qiáng)的提取。借助于干涉圖的處理技術(shù)，對其進(jìn)行相位提取，相位解包，可得到兩個(gè)正交方向的差分信息，采用Zernike多項(xiàng)式最小二乘法擬合波面，可獲得原始波前。