激光束束形參數(shù)檢測技術研究.pdf

1、作為高精度測試裝置的激光器，其設計和加工精度、輸出參數(shù)的準確度、與設計值的偏差程度、工作期間的穩(wěn)定性將直接傳遞到被測件的測量中，因此激光器自身輸出參數(shù)的測試顯得尤為重要。本文采用四波橫向剪切干涉法對激光束參數(shù)進行檢測研究，其具有分辨率高、操作性強、穩(wěn)定性好、對振動不敏感以及結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點。
　　在對目前常用的波前檢測方法進行深入研究及討論的基礎上，本文詳細論述了四波橫向剪切干涉的基本工作原理。實現(xiàn)該原理的二維衍射光柵作為其關鍵器件

2、，它是在傳統(tǒng)的哈特曼波前傳感器掩膜板的基礎上加工了具有一定相位差值的相位光柵。四波橫向剪切干涉系統(tǒng)由一個二維衍射光柵和一個CCD相機組成。當光束通過二維衍射光柵后，在CCD相機的接收屏就會產(chǎn)生剪切光斑，從而形成干涉圖?？臻g載頻法對實驗裝置沒有特殊要求，可在動態(tài)測量中進行相位與光強的提取。借助于干涉圖的處理技術，對其進行相位提取，相位解包，可得到兩個正交方向的差分信息，采用Zernike多項式最小二乘法擬合波面，可獲得原始波前。