基于AWG的2bit光延時集成器件的研究與制備.pdf

1、使用集成光學制備工藝的光波導延遲線的延時精度能夠達到亞皮秒量級，能夠滿足雷達對工作頻率越來越高的要求。而相對于無機材料而言，近年來有機聚合物光集成器件因其特有的優(yōu)勢，越來越成為熱門的研究課題。聚合物材料在制作光波導時，具有成膜性好，剪裁性和加工性強，以及與襯底的兼容性高的優(yōu)點。同時，在光的損耗，折射率的控制，熱穩(wěn)定性等性能方面的實驗和進展表明，聚合物將成為低成本，高性能的光集成器件的基礎材料。
　　本論文首先對平板光波導理論以及陣

2、列波導光柵的工作原理進行了詳細的研究。并以光波導理論和光的耦合模理論為基礎，根據(jù)AWG的工作原理和各參數(shù)特性。設計出了工作于通信波長的1×8陣列波導光柵，并用Rsoft軟件進行了模擬和參數(shù)的優(yōu)化。然后根據(jù)制作所需的流程，對制備工藝進行了詳細的探究和分析，得出了完整的工藝流程和參數(shù)。選用了ZPU13系列的有機聚合物作為波導的芯層和包層材料。制備出了波長間隔1.6nm的1×8陣列波導光柵并進行了測試。測試結果表明器件成功實現(xiàn)了對中心波長為1