FC3000芯片清洗機(jī)的傳送系統(tǒng)開發(fā).pdf

1、自九十年代至今，中國的半導(dǎo)體制造業(yè)從單純的技術(shù)引進(jìn)，發(fā)展到自主研發(fā)、獨(dú)立設(shè)計的階段，并朝著有序的方向發(fā)展。由于半導(dǎo)體設(shè)備大多由國外廠家壟斷，并且引進(jìn)到我國的機(jī)臺已有很多使用期限超過了十年，這些機(jī)臺正面臨著零部件老化，甚至停產(chǎn)，并且很多機(jī)臺不適用于當(dāng)前先進(jìn)技術(shù)產(chǎn)品要求的窘境，有序的再制造技術(shù)是對舊有設(shè)備重新發(fā)揮作用的一個重要組成部分。本文以FC3000型芯片清洗機(jī)的芯片傳送系統(tǒng)再次開發(fā)為背景，對FC3000傳送系統(tǒng)進(jìn)行深入的改造。在論文之

2、中，首要確定了傳送機(jī)構(gòu)改造的方案，在舊設(shè)備的基礎(chǔ)上，以原有的設(shè)定參數(shù)作為參考，進(jìn)行硬件匹配度評估，為伺服系統(tǒng)和運(yùn)動部件的選型提供了理論依據(jù)。然后，從分析傳送系統(tǒng)的軟硬件和運(yùn)動順序的特點入手，比較詳細(xì)地闡述如何針對舊型 FC3000設(shè)備的再利用配置和使用要求進(jìn)行二次開發(fā)和電氣設(shè)計、設(shè)備控制系統(tǒng)聯(lián)調(diào)等技術(shù)。設(shè)計了FC3000傳送系統(tǒng)的硬件改造、電氣控制線路，輸入輸出地址設(shè)定，包括機(jī)臺調(diào)試、系統(tǒng)初始化參數(shù)等。形成了機(jī)臺傳送系統(tǒng)再制造開發(fā)的樣本