雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型穆勒矩陣橢偏儀同步控制系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf

1、橢偏儀對(duì)于納米級(jí)樣件結(jié)構(gòu)測(cè)量有很廣泛的應(yīng)用前景，雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型全穆勒矩陣橢偏儀由于能夠快速測(cè)得穆勒矩陣中全部16個(gè)元素，在薄膜和納米結(jié)構(gòu)測(cè)量等領(lǐng)域都有很大的優(yōu)勢(shì)。雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型穆勒矩陣橢偏儀從其測(cè)量原理上看，雙補(bǔ)償器的同步旋轉(zhuǎn)特性是其實(shí)現(xiàn)高精度偏振調(diào)制的關(guān)鍵，對(duì)于穆勒矩陣橢偏儀的測(cè)量準(zhǔn)確度和測(cè)量重復(fù)性精度性能好壞有至關(guān)重要的作用。因此，本文從系統(tǒng)設(shè)計(jì)及誤差分析的角度對(duì)雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器型穆勒矩陣橢偏儀的同步控制系統(tǒng)進(jìn)行研究，通過系統(tǒng)建模和仿真

2、分析補(bǔ)償器旋轉(zhuǎn)同步控制誤差對(duì)系統(tǒng)測(cè)量精度的影響，并且以此為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了同步控制方案，主要研究工作包括以下幾個(gè)方面：
　　根據(jù)穆勒矩陣橢偏儀基本測(cè)量原理與系統(tǒng)模型建立了補(bǔ)償器旋轉(zhuǎn)同步控制誤差傳遞模型，通過仿真分析了同步控制系統(tǒng)中的誤差對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，從而為同步控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)提供理論依據(jù)和數(shù)據(jù)支撐。
　　結(jié)合理論建模和仿真分析結(jié)果，進(jìn)行穆勒矩陣橢偏儀同步控制系統(tǒng)需求分析，并從器件選型、同步控制方案的對(duì)比等幾個(gè)方面進(jìn)行了系統(tǒng)設(shè)