

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
1、微納米檢測技術(shù)越來越成為現(xiàn)在世界科技發(fā)展的前沿之一,對現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和社會進步起了非常巨大的推動作用。而掃描隧道顯微鏡(STM)與原子力顯微鏡(AFM)等超高分辨率的儀器已經(jīng)成為納米領(lǐng)域里不可或缺的重要檢測工具,尤其是AFM,因為它不受樣品是否導(dǎo)電的限制而廣泛被應(yīng)用于微電子學(xué)、醫(yī)學(xué)、生物學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)與精密機械及微納米技術(shù)等領(lǐng)域。
目前,世界上大多數(shù)傳統(tǒng)的AFM,都沒有顯微監(jiān)控單元。但是AFM的微懸臂(探針)尺寸非常小,
2、無法使用肉眼直接觀察;另外樣品被掃描的區(qū)域也十分微小,同樣需要在掃描前預(yù)先選定一個大致的掃描范圍。沒有顯微監(jiān)控單元,掃描時樣品表面狀況和探針逼近樣品的過程都不可見,在選擇掃描區(qū)域和控制探針樣品逼近過程時存在很大的盲目性。如果探針針尖正好在樣品表面的疵點上掃描,結(jié)果只能獲得錯誤的表面信息;或者在探針—樣品盲目進給過程中,很可能會折斷探針或者對樣品表面造成劃傷。因而它們在性能和技術(shù)指標(biāo)方面均存在局限性。為此,本文發(fā)展了一種新型采用顯微監(jiān)控的
3、可選區(qū)原子力顯微鏡新方法。并在此基礎(chǔ)上研制出了一套可選區(qū)AFM系統(tǒng),包括顯微監(jiān)控單元和新型光束偏轉(zhuǎn)法檢測系統(tǒng)以及步進電機等部分。該系統(tǒng)采用顯微監(jiān)控單元和AFM掃描部分緊湊集成的方法,在保證最佳光杠桿放大比的基礎(chǔ)上,既可以實現(xiàn)樣品高精度微納米檢測,也可同時實現(xiàn)對樣品的特定區(qū)域選擇性掃描和樣品探針逼近過程的監(jiān)控。
本文分別從理論方法、系統(tǒng)設(shè)計以及實驗技術(shù)等各個方面對此AFM系統(tǒng)進行了詳細闡述,本文的主要工作及研究內(nèi)容如下:
4、 首次提出了一種可提供樣品高精度微納米檢測,也可同時實現(xiàn)對樣品特定區(qū)域選擇性掃描和樣品探針逼近過程監(jiān)控的AFM新方法。該新方法緊密集成了顯微監(jiān)控系統(tǒng)和AFM,在保持納米量級掃描精度的基礎(chǔ)上,可選擇樣品的掃描區(qū)域和監(jiān)控探針—樣品逼近過程,克服了常規(guī)AFM的局限性,為實現(xiàn)掃描與監(jiān)控同步進行提供了新途徑。
研究和發(fā)展了一種新型采用顯微監(jiān)控的可選區(qū)原子力顯微鏡系統(tǒng)。主要包括顯微監(jiān)控單元、新型光束偏轉(zhuǎn)法檢測系統(tǒng)以及步進掃描電機等部分。
5、該系統(tǒng)性能良好、運行平穩(wěn),既可以實現(xiàn)樣品高精度微納米檢測,也可同時實現(xiàn)對樣品特定區(qū)域選擇掃描和探針—樣品逼近過程的監(jiān)控??赏谖⒓{米加工制備、微納米操控及微納米檢測等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
利用本系統(tǒng)對多種樣品進行了AFM掃描和監(jiān)控實驗研究。包括樣品探針—逼近過程監(jiān)控實驗、樣品選區(qū)掃描實驗,也開展了本系統(tǒng)的小范圍高精度掃描性能測試實驗,得到了良好的實驗結(jié)果。實驗結(jié)果表明,本文研發(fā)的采用顯微監(jiān)控的可選區(qū)原子力顯微鏡系統(tǒng),具有穩(wěn)定良好
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 原子力顯微鏡
- 掃描隧道原子力顯微鏡
- 實驗七 原子力顯微鏡
- 并行原子力顯微鏡研制.pdf
- 高精密掃描隧道顯微鏡及原子力顯微鏡研制.pdf
- 原子力顯微鏡技術(shù)參數(shù)
- 計量型原子力顯微鏡的研究.pdf
- 超聲振動原子力顯微鏡成像研究.pdf
- 原子力顯微鏡測頭系統(tǒng)的研究.pdf
- 生物型原子力顯微鏡設(shè)備采購
- 原子力顯微術(shù)的新方法研究及新型原子力顯微鏡系統(tǒng)研制.pdf
- 輕敲模式原子力顯微鏡的優(yōu)化研究.pdf
- 高速原子力顯微鏡的成像方法研究.pdf
- 布魯克原子力掃描探針顯微鏡
- 原子力顯微鏡遠程細胞檢測技術(shù).pdf
- 原子力顯微鏡自動控制算法研究.pdf
- 超聲原子力顯微鏡成像及分析.pdf
- 原子力顯微術(shù)及IPC-208B型原子力顯微鏡的應(yīng)用研究.pdf
- 電化學(xué)原子力顯微鏡的研制.pdf
- 大掃描范圍原子力顯微鏡的研制.pdf
評論
0/150
提交評論