不銹鋼表面高功率脈沖磁控濺射制備Cr-CrN-Cu-TiN多層膜的研究.pdf

1、為使手術(shù)器械獲得強耐蝕性和抗污染性等優(yōu)異性能，根據(jù)“荷葉效應(yīng)”，本研究創(chuàng)新性地在手術(shù)器械材料304不銹鋼表面用化學(xué)溶液刻蝕出蜂窩狀微納米結(jié)構(gòu)表面形貌，然后在其表面高功率脈沖磁控濺射沉積 Cr/CrN/Cu-TiN多層膜，所制薄膜具有強耐蝕性和疏水性。多層膜結(jié)構(gòu)和性能檢測用掃描電子顯微鏡、X射線能譜儀、X射線衍射儀、金相顯微鏡、電化學(xué)工作站、顯微硬度儀、涂層附著力自動劃痕儀和接觸角測量儀等。
　　本研究以最大膜基結(jié)合力為標(biāo)準，確定了

2、光滑不銹鋼表面沉積多層膜最佳工藝參數(shù)，在此基礎(chǔ)上先研究基體偏壓和勵磁電流對光滑不銹鋼表面多層膜的結(jié)構(gòu)和性能影響，然后使用化學(xué)溶液刻蝕處理不銹鋼，研究表面形貌對多層膜的結(jié)構(gòu)和性能影響，主要結(jié)論如下：⑴X射線衍射相分析表明多層膜主要由Cr、CrN和TiN等相組成，與設(shè)計的膜層結(jié)構(gòu)一致；⑵在一定范圍內(nèi)增加基體偏壓則Cr含量增加，TiN相含量先減后增，薄膜硬度提高，膜基結(jié)合力呈先增后減趨勢，薄膜腐蝕電位會正移，腐蝕電流密度相應(yīng)降低，耐腐蝕性增加