基于微陣列結構氣壓傳感器的數(shù)值模擬.pdf

1、本文主要以用于監(jiān)測密封包裝內(nèi)氣壓變化的高靈敏度微結構氣壓傳感器為研究對象，從三維壓電理論出發(fā)，研究了PVDF聚合物微陣列結構對傳感器的力電轉換效率的影響。通過 COMSOL Multiphysics軟件模擬多種薄膜微陣列結構的力電轉換性能，獲得了最優(yōu)的PVDF聚合物微陣列結構及參數(shù)。
　　本文的主要內(nèi)容包括；
　?。?）從三維壓電基本理論出發(fā)，建立了壓電薄膜結構的力電耦合方程和介電電容等效耗散模型，推導了適用于PVDF聚合物

2、微陣列結構的壓電本構方程。
　?。?）提出了四種不同的PVDF聚合物微陣列結構，利用COMSOL Multiphysics仿真軟件建立四種結構的三維模型。
　?。?）分別對四種不同的PVDF微陣列結構在恒定壓力和不同壓力下的力電轉換性能進行仿真模擬，并討論受力方向對微陣列結構靈敏度的影響，獲得了最優(yōu)的微陣列結構參數(shù)。
　?。?）提出了錐形PVDF聚合物微陣列結構，耦合了壓電和撓曲電效應。針對不同的結構參數(shù)對錐形 PVD