雙極型集成電路與恒流二極管的兼容制造方法.pdf

1、恒流二極管作為一種新型電子元器件，具有恒流值穩(wěn)定，恒流范圍大，動(dòng)態(tài)電阻大等特點(diǎn)，是實(shí)現(xiàn)電子電路中恒流作用的重要器件。作為一個(gè)分立元器件，恒流二極管的應(yīng)用廣泛，但將其集成在電路中進(jìn)行應(yīng)用，目前尚沒(méi)有。雙極型集成電路，由于隔離區(qū)的存在集成度低，其應(yīng)用受到限制。
　　基于目前這個(gè)現(xiàn)狀，提出了將雙極型集成電路與恒流二極管兼容制造，將恒流二極管集成在雙極型集成電路中進(jìn)行應(yīng)用。首先，通過(guò)對(duì)恒流二極管、雙極型器件的工作原理和器件參數(shù)的了解，初步

2、計(jì)算出器件的結(jié)構(gòu)參數(shù)，進(jìn)行器件結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和制造。并通過(guò)對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，得到各個(gè)結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)恒流二極管和雙極型器件的電學(xué)特性的影響。
　　經(jīng)過(guò)對(duì)比恒流二極管和雙極型器件的工作原理、工藝制造、參數(shù)對(duì)電學(xué)特性的影響，結(jié)合半導(dǎo)體物理和器件原理知識(shí)，設(shè)計(jì)恒流二極管和雙極型器件的兼容結(jié)構(gòu)。通過(guò)，無(wú)數(shù)次的實(shí)驗(yàn)和修改設(shè)計(jì)，最終找出兼容結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)方法。接著，對(duì)兼容結(jié)構(gòu)按照一定的物理模型和數(shù)值計(jì)算方法進(jìn)行電學(xué)特性仿真，并討論發(fā)射區(qū)摻雜濃度、基區(qū)摻雜