時序彩色LCoS顯示屏制備工藝技術及測試的研究.pdf

1、硅基液晶顯示器(Liquid Crystal on Silicon，LCoS)結合了薄膜晶體管液晶顯示(TFT-LCD)的優(yōu)點和CMOS大規(guī)模集成電路成熟的設計及生產工藝，具有分辨率高、尺寸小、重量輕和功耗低等諸多優(yōu)點，在投影顯示、近目頭盔顯示及3D技術中都有廣泛的應用。高分辨率及快速響應的LCoS顯示屏是實現(xiàn)時序驅動的主要候選器件之一，具有廣闊的應用前景。
　　本文針對實現(xiàn)時序彩色顯示的LCoS屏性能要求，對時序彩色LCoS顯示

2、屏的顯示原理和工作模式進行了深入的探討，以優(yōu)化滿足時序驅動的LCoS工作模式，著重討論了LCoS的垂直取向(VA)模式的工作原理。在此基礎之上，本文利用Techwize液晶軟件對VA-LCoS模擬，確定了滿足時序顯示要求的液晶屏的結構參數(shù)和材料參數(shù)，預傾角84°～90°，盒厚2～2.5um，液晶材料的介電各向異性△ε=-4.2，光學各向異性△n=0.08。對于采用MLC6608液晶的LCoS顯示屏的厚度為2.4um，預傾角為88°。

3、r>　　在LCoS屏結構材料參數(shù)優(yōu)化的基礎上，設計了LCoS液晶屏，并對LCoS屏的制備工藝流程進行了研究。通過大量實驗，得到了VA模式LCoS顯示屏制備工藝參數(shù)。對制備的液晶屏綁定之后，搭建光路測試系統(tǒng)，連接驅動電路，測試了液晶屏的性能參數(shù)，包括亮度、對比度、響應時間等。制備的VA-LCoS屏的響應時間小于6ms，滿足時序驅動的要求，對比度為53。
　　在探討時序驅動LCoS工作原理基礎上配置了時序彩色顯示的光學系統(tǒng)架構，為進一