時(shí)序彩色LCoS顯示屏制備工藝技術(shù)及測(cè)試的研究.pdf

1、硅基液晶顯示器(Liquid Crystal on Silicon，LCoS)結(jié)合了薄膜晶體管液晶顯示(TFT-LCD)的優(yōu)點(diǎn)和CMOS大規(guī)模集成電路成熟的設(shè)計(jì)及生產(chǎn)工藝，具有分辨率高、尺寸小、重量輕和功耗低等諸多優(yōu)點(diǎn)，在投影顯示、近目頭盔顯示及3D技術(shù)中都有廣泛的應(yīng)用。高分辨率及快速響應(yīng)的LCoS顯示屏是實(shí)現(xiàn)時(shí)序驅(qū)動(dòng)的主要候選器件之一，具有廣闊的應(yīng)用前景。
　　本文針對(duì)實(shí)現(xiàn)時(shí)序彩色顯示的LCoS屏性能要求，對(duì)時(shí)序彩色LCoS顯示

2、屏的顯示原理和工作模式進(jìn)行了深入的探討，以?xún)?yōu)化滿(mǎn)足時(shí)序驅(qū)動(dòng)的LCoS工作模式，著重討論了LCoS的垂直取向(VA)模式的工作原理。在此基礎(chǔ)之上，本文利用Techwize液晶軟件對(duì)VA-LCoS模擬，確定了滿(mǎn)足時(shí)序顯示要求的液晶屏的結(jié)構(gòu)參數(shù)和材料參數(shù)，預(yù)傾角84°～90°，盒厚2～2.5um，液晶材料的介電各向異性△ε=-4.2，光學(xué)各向異性△n=0.08。對(duì)于采用MLC6608液晶的LCoS顯示屏的厚度為2.4um，預(yù)傾角為88°。

3、r>　　在LCoS屏結(jié)構(gòu)材料參數(shù)優(yōu)化的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了LCoS液晶屏，并對(duì)LCoS屏的制備工藝流程進(jìn)行了研究。通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)，得到了VA模式LCoS顯示屏制備工藝參數(shù)。對(duì)制備的液晶屏綁定之后，搭建光路測(cè)試系統(tǒng)，連接驅(qū)動(dòng)電路，測(cè)試了液晶屏的性能參數(shù)，包括亮度、對(duì)比度、響應(yīng)時(shí)間等。制備的VA-LCoS屏的響應(yīng)時(shí)間小于6ms，滿(mǎn)足時(shí)序驅(qū)動(dòng)的要求，對(duì)比度為53。
　　在探討時(shí)序驅(qū)動(dòng)LCoS工作原理基礎(chǔ)上配置了時(shí)序彩色顯示的光學(xué)系統(tǒng)架構(gòu)，為進(jìn)一