基于光學掃描法的長導軌直線度測量方法研究.pdf

1、直線度誤差是導軌加工件的主要形位誤差。對于運動平臺導軌，直線度誤差直接影響著機床、測量機的精度。隨著超精密加工技術的不斷進步，對導軌直線度測量的要求也越來越高。傳統(tǒng)的以直尺，重錘線等簡易工具為測量手段的方法，雖然具有檢測器具簡單、實施簡便的優(yōu)點，但測量精度不高、性能無法保證；而以激光準直技術作為測量手段的現(xiàn)代測量方法，雖然具有測量精度高、速度快的優(yōu)點，但激光在現(xiàn)場環(huán)境中的應用受到限制，且不便于已安裝到位的導軌的在位測量。
　　本論

2、文采用基于位移傳感器的多測頭掃描法對長導軌的直線度誤差的在位測量方法進行研究，提出一種采用傾角補償?shù)?測頭掃描方法，可對被測導軌實施非接觸和連續(xù)快速掃描測量，重構出的形狀可精確反映直線度誤差的高頻成分且對測量噪聲有較好抑制能力。本文首先對現(xiàn)有的導軌直線度掃描測量方法進行介紹，接著詳細說明了傾角補償式3點法的測量原理和仿真驗證結果，隨后搭建實驗系統(tǒng)對提出方法進行了驗證。針對開發(fā)的實驗系統(tǒng)編寫了相應的數(shù)據(jù)采集程序和采用最小二乘法的直線度重構