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文檔簡(jiǎn)介
1、半導(dǎo)體氣體傳感器已經(jīng)發(fā)展多年,其在工業(yè)廢氣檢測(cè)、民事安全和呼吸診斷等領(lǐng)域得到了廣泛的關(guān)注。盡管目前已經(jīng)取得了顯著的成果,但是傳感器仍然存在著靈敏度偏低、選擇性偏差、成本較高等缺點(diǎn)。這嚴(yán)重的制約了這類(lèi)傳感器產(chǎn)品的推廣和應(yīng)用。
本文采用了化學(xué)溶液法,并且從尺寸效應(yīng)和p-n異質(zhì)結(jié)增強(qiáng)氣敏性能的兩方面來(lái)考慮,合成出對(duì)丙酮和H2S具有高靈敏度、高選擇性、低成本的WO3納米材料,并且加工成氣體傳感器。具體工作如下:
1.以一種簡(jiǎn)
2、單、廉價(jià)、實(shí)際的sol-gel法,合成了平均尺寸約為23nm的γ和ε復(fù)合相的WO3納米顆粒,并且制備了基于這種材料的丙酮?dú)饷魝鞲衅?。研究表明,這種傳感器具有高的選擇性和良好的穩(wěn)定性。更重要的是對(duì)于10ppm的丙酮?dú)怏w的靈敏度約為15.05,同時(shí)伴隨著7s的響應(yīng)時(shí)間和12s的恢復(fù)時(shí)間。本論文提供了一種簡(jiǎn)單的合成方法,獲得了較高的氣敏性能,這為呼吸診斷糖尿病提供了條件。
2.利用兩次水熱法,合成出不同比例的WO3/CuO納米復(fù)合結(jié)
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