TiO2-Al2O3薄膜對(duì)稀土永磁體表面特性的影響.pdf

1、高溫Sm2Co17永磁體由于其優(yōu)良的溫度特性，在高溫濕熱環(huán)境中得到了廣泛的應(yīng)用，但是在高溫濕熱環(huán)境中磁體的表面氧化，對(duì)磁體的磁性能損害極大。
　　本論文利用電鍍法在磁體表面滾鍍一層金屬Ni，作為對(duì)高溫Sm2Co17永磁體表面的預(yù)處理，再分別采用直流磁控濺射和射頻磁控濺射方法沉積TiO2/Al2O3薄膜保護(hù)磁體，并利用X射線衍射儀（ XRD）、能譜儀（ EDX）、掃描電子顯微鏡（SEM）和原子力顯微鏡（AFM）對(duì)薄膜層的物相成分及微

2、觀形貌進(jìn)行了分析，利用電化學(xué)工作站對(duì)樣品的抗腐蝕性能進(jìn)行了表征。
　　薄膜層的物相成分及結(jié)構(gòu)分析表明：直流磁控濺射和射頻磁控濺射所得到樣品在450℃退火6h后，TiO2呈銳鈦礦結(jié)構(gòu)，而氧化鋁保持為非晶結(jié)構(gòu)；直流磁控濺射和射頻磁控濺射所得的 TiO2和 Al2O3薄膜致密性都較好，但是樣品表面均比較粗糙，存在很明顯的起伏，氧化物薄膜表面呈顆粒狀存在。
　　電化學(xué)腐蝕試驗(yàn)表明：直流磁控濺射和射頻磁控濺射所得樣品在450℃退火后，

3、其抗腐蝕性能較 Sm2Co17以及 Sm2Co17/Ni均具有明顯的改善，其中直流磁控濺射所得薄膜的腐蝕電流降低約一個(gè)數(shù)量級(jí)，而射頻磁控濺射制備 TiO2/Al2O3得到的薄膜抗腐蝕性能更加優(yōu)異，與 Sm2Co17磁體相比，其腐蝕電流降低2~4個(gè)數(shù)量級(jí)，比直流磁控濺射所沉積薄膜的腐蝕電流低1~3個(gè)數(shù)量級(jí)。Al2O3薄膜每增加1nm其抗腐蝕性能提高約2％，而 TiO2薄膜每增加1nm其抗腐蝕性能提高約0.7%。
　　在 Sm2Co1