基于單片機(jī)的擴(kuò)散爐多路高精度溫度控制系統(tǒng)的設(shè)計.pdf

1、擴(kuò)散爐是電子元件生產(chǎn)的重要工藝設(shè)備，它適用于晶體管、晶閘管、固體集成電路等半導(dǎo)體器件制造過程。在擴(kuò)散爐工藝參數(shù)中，溫度具有決定性的影響，溫度控制精度不僅直接影響著產(chǎn)品質(zhì)量，也影響著擴(kuò)散爐本身的效能。
　　 本文針對傳統(tǒng)的控制系統(tǒng)的溫度控制精度、生產(chǎn)工藝控制能力等較低的現(xiàn)狀，設(shè)計了擴(kuò)散爐溫度控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高精度檢測并控制多路溫度值，達(dá)到將擴(kuò)散爐溫度控制在要求范圍內(nèi)的目的。本設(shè)計由CPU、加熱控制以及檢測部分構(gòu)成對被控對象擴(kuò)散爐體的

2、閉環(huán)控制系統(tǒng)，并且通過無線與上位機(jī)進(jìn)行通信。系統(tǒng)以83C552單片機(jī)作為核心，檢測部分采用三路熱電偶對擴(kuò)散爐內(nèi)三處位置進(jìn)行溫度檢測，并采用熱電阻作為冷端溫度補(bǔ)償，對熱電阻測溫的非線性問題進(jìn)行了分析，通過計算消除了熱電阻的非線性問題，并采用多模型自適應(yīng)控制對溫度進(jìn)行分段PID控制，并在MATLAB下對算法進(jìn)行了仿真測試，給出了算法的軟件實(shí)現(xiàn)。系統(tǒng)通過多路開關(guān)將幾路測量信號分時的傳輸給放大器以及A/D轉(zhuǎn)換，CPU讀取A/D轉(zhuǎn)換結(jié)果與設(shè)定值進(jìn)