

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、TiN薄膜以其漂亮的金黃色、良好的導(dǎo)電導(dǎo)熱性能和硬度高等優(yōu)良特性,被廣泛用于機(jī)械工業(yè)中的刀具、模具,但其容易被氧化,在高速切削而引起的高溫耐磨環(huán)境中的使用受到了限制。人們摻入Al元素,形成TiAlN薄膜,不但有效的提高了薄膜的硬度還能有效增加其抗氧化溫度,在一定程度上解決了這一問(wèn)題;CrN雖然硬度比TiN稍低,但它抗氧化性、耐磨性都要優(yōu)于TiN,因而向CrN中添Al有望改善薄膜的抗氧化性,近年來(lái)隨著對(duì)耐摩材料的要求不斷提高,CrAlN薄
2、膜的研究也逐步被關(guān)注。納米多層膜可以提高薄膜的耐磨性、硬度,增加使用壽命,因此本文以此為出發(fā)點(diǎn),期望能制備多出更加優(yōu)良性能的CrAlN薄膜。
本研究采用陰極電弧離子鍍和磁控濺射相結(jié)合復(fù)合鍍的方法分別離化純度為99.99%的鉻靶和鋁靶,同時(shí)沉積在高速鋼和硅片上。分別單一改變脈沖偏壓幅值和占空比以及沉積氣壓研究對(duì)單層薄膜的影響;改變調(diào)制周期和調(diào)制比制備Cr/CrAlN多層膜,分析多層膜結(jié)構(gòu)是否有助于力學(xué)性能的改善,研究實(shí)驗(yàn)的工藝參
3、數(shù)對(duì)多層膜晶體結(jié)構(gòu)和機(jī)械性能的影響,摸索最佳的實(shí)驗(yàn)條件;結(jié)合實(shí)驗(yàn)結(jié)果,對(duì)多層膜制備,結(jié)構(gòu)和性能的關(guān)系進(jìn)行理論解釋。
實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:隨著脈沖偏壓增大,硬度增加,在500V時(shí),硬度達(dá)到最大為1812 Hv,而且表面形貌變好;隨著沉積氣壓的增加,CrAlN薄膜的顯微硬度顯著增大,在1.1 Pa時(shí),硬度達(dá)到最大為2500 Hv;隨著占空比增加,薄膜硬度先變大后變小,40%時(shí)薄膜硬度最大。隨著周期增多硬度增大,出現(xiàn)了硬度加強(qiáng)效應(yīng),薄膜結(jié)
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 脈沖偏壓電弧離子鍍CrAlN薄膜性能研究.pdf
- 電弧離子鍍Ti-TiN-Zr-ZrN多層膜及其性能研究.pdf
- 多弧離子鍍納米復(fù)合膜的結(jié)構(gòu)與性能研究.pdf
- 電弧離子鍍制備TiAlN膜及其表征.pdf
- 多弧離子鍍制備TiN-AlN納米多層膜及其性能的研究.pdf
- 復(fù)合離子鍍altin薄膜的結(jié)構(gòu)和性能研究
- 復(fù)合離子鍍AlTiN薄膜的結(jié)構(gòu)和性能研究.pdf
- 多弧離子鍍制備納米復(fù)合超硬膜的工藝研究.pdf
- titin多層膜crcrn多層膜電弧離子鍍調(diào)制周期腐蝕性能耐磨性論文
- 多弧離子鍍制備TiZrN復(fù)合涂層及其性能的研究.pdf
- 磁場(chǎng)增強(qiáng)多弧離子鍍CrAlN薄膜制備工藝及組織性能研究.pdf
- 電弧離子鍍CrAlTiN膜的制備和性能研究.pdf
- 分離靶真空電弧離子鍍制備TiAlN膜層及其性能研究.pdf
- 電弧離子鍍深管內(nèi)壁硬膜沉積研究.pdf
- 離子鍍CrN-,x-梯度膜組織結(jié)構(gòu)及性能研究.pdf
- 電弧離子鍍納米復(fù)合疏水硬質(zhì)薄膜研究.pdf
- 電弧離子鍍CrN涂層的制備及其性能研究.pdf
- 電弧離子鍍TiN薄膜的制備及其特性研究.pdf
- 脈沖偏壓電弧離子鍍沉積超硬多層薄膜.pdf
- 脈沖偏壓電弧離子鍍沉積Ti-Cu-N納米復(fù)合膜.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論