連續(xù)激光作用下半導(dǎo)體材料熱效應(yīng)的數(shù)值分析.pdf

1、本文從熱傳導(dǎo)理論出發(fā)，利用多物理場(chǎng)耦合分析軟件 COMSOL Multiphysics對(duì)激光作用于半導(dǎo)體材料時(shí)材料的熱效應(yīng)進(jìn)行數(shù)值模擬計(jì)算，主要計(jì)算了連續(xù)激光輻照下半導(dǎo)體材料GaAs與InSb的溫度分布、損傷閾值、熱應(yīng)力分布等，并深入討論了隨溫度變化的熱物性參數(shù)、激光的作用時(shí)間、激光參數(shù)（功率密度、光斑半徑）及熱對(duì)流與熱輻射對(duì)熱效應(yīng)的影響。
　　(1)基于熱傳導(dǎo)理論，構(gòu)建了高斯分布的連續(xù)激光輻照 GaAs材料的二維軸對(duì)稱瞬態(tài)物理模

2、型，利用多物理場(chǎng)直接耦合分析軟件COMSOL Multiphysics求解了熱傳導(dǎo)方程，得到了材料表面溫度分布曲線及光斑中心處溫度沿材料厚度方向分布曲線，并得出分解損傷功率密度與輻照時(shí)間的關(guān)系曲線，最后討論了熱對(duì)流及熱輻射對(duì)材料表面中心溫度的影響。理論計(jì)算結(jié)果與實(shí)驗(yàn)結(jié)論相一致，說(shuō)明所建的激光輻照效應(yīng)模型的科學(xué)性與客觀性。
　　(2)基于熱傳導(dǎo)理論和熱彈性理論，建立了圓形激光輻照InSb材料的柱坐標(biāo)模型，利用多物理場(chǎng)直接耦合分析軟件